激光干涉定位测量系统实例
发布时间:2015/5/31 19:17:26 访问次数:824
例4 -1 自动分步重复照相机中的激光干涉定位系统。
图4 -32是清华大掌研制的自动分步重复照相机中的激光干涉定位测量系统的光路图。AT24C1024W-10SI-2.7本系统采用了半内腔式激光器,输出功率形>0. 5mW,激光束经反射镜1、3入射到析光镜9,光束被分成两束。一束透过析光镜9进入梯形棱镜10到固定立体直角锥棱镜2;
另一束由析光镜反射并通过直角锥棱镜5和8把光束提高,经五角棱镜6转900,进入测量立体直角锥棱镜7。为避免光经干涉系统后又回到激光管内,上述光束故意偏离立体直角锥棱镜的顶点(约4mm),从立体直角锥棱镜7和2反射回的光束与入射光束相距
8mm左右,它们重新汇会在析光镜9产生干涉,相干条纹部分直接被光电三极管15接收,另一部分经直角棱镜4反射被光电三极管17接收。两路信号相位差900,经放大、整形、倍频后送人数字可逆计数器。激光器另一端发出的激光经反射镜13、12分成两束,光
电三极管11直接检测激光器输出功率,用于平衡。由于光强波动引起的直流漂移,光电三极管14接收的信号用于激光频率的稳频。
例4 -1 自动分步重复照相机中的激光干涉定位系统。
图4 -32是清华大掌研制的自动分步重复照相机中的激光干涉定位测量系统的光路图。AT24C1024W-10SI-2.7本系统采用了半内腔式激光器,输出功率形>0. 5mW,激光束经反射镜1、3入射到析光镜9,光束被分成两束。一束透过析光镜9进入梯形棱镜10到固定立体直角锥棱镜2;
另一束由析光镜反射并通过直角锥棱镜5和8把光束提高,经五角棱镜6转900,进入测量立体直角锥棱镜7。为避免光经干涉系统后又回到激光管内,上述光束故意偏离立体直角锥棱镜的顶点(约4mm),从立体直角锥棱镜7和2反射回的光束与入射光束相距
8mm左右,它们重新汇会在析光镜9产生干涉,相干条纹部分直接被光电三极管15接收,另一部分经直角棱镜4反射被光电三极管17接收。两路信号相位差900,经放大、整形、倍频后送人数字可逆计数器。激光器另一端发出的激光经反射镜13、12分成两束,光
电三极管11直接检测激光器输出功率,用于平衡。由于光强波动引起的直流漂移,光电三极管14接收的信号用于激光频率的稳频。
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