减小热变形影响
发布时间:2015/5/23 21:09:40 访问次数:633
某些精密光电仪器对工作的环境温度较为敏感,由此会给仪器带来一定的误差, FAN4803CP2因此在仪器设计时,应考虑采取相应的措施,以减少温度变化对仪器和传感器精度的影响。下面以丝杠动态测量仪对环境条件及温度变化影响的补偿为例,加以说明。
丝杠动态测量仪,用圆光栅作测量转角的角度标准,用激光波长作测量线位移的长度标准。利用同步测量角位移和线位移,把两路信号通过比相,或通过比较两路信号的脉冲个数,而实现对丝杠参数的检验。仪器在工作过程中,由于温度的影响,被测丝杠将伸长或缩短,此外,当环境温度、气压、湿度偏离标准状态时,激光波长也将发生变化,这些都将带来测量误差。下面介绍的补偿方案,假定在测量过程中,环境的温度、气压、湿度不再变化。因此,这些因素引起的误差,可看作是与测量长度成线性关系的系统误差,在全长上误差是线性累加的。根据这样的考虑,因此,可以采用在激光一路信号中增减脉冲数的办法来进行补偿。在补偿时,先测出环境的温度、气压、湿度,再根据修正公式计算出在被测长度上应补偿的数值。假设,根据实测的环境条件,计算得每米累积补偿量为5斗m,工作台每移动半个波长,激光一路发出一个脉冲,所以Sym相当于Sym/( A/2)=Ⅳ1个脉冲
(A的单位为l.t,m)。这Ⅳ,个脉冲数需要在Im长度内给以均匀补偿。在Im长度内的激光脉冲数为M,= lOOOOOOym/( A/2)。因此,为了将5斗m的误差量在Im长度内补偿掉,就需要在每隔M,/Ⅳ.=2 xl05个激光脉冲时,对激光信号增减一个信号。如果计算得的累积补偿量5斗m是一个正数,那么就要求在每隔2×l05个信号时,对激光一路补进一个信号,即Im内补Ni个信号;反之,若计算所得的5斗m是一个负数,则就要求在每隔2x105个信号时,对激光一路堵住(减去)一个信号,即Im内堵住Ⅳ1个信号,这样就达到了补偿的作用。
某些精密光电仪器对工作的环境温度较为敏感,由此会给仪器带来一定的误差, FAN4803CP2因此在仪器设计时,应考虑采取相应的措施,以减少温度变化对仪器和传感器精度的影响。下面以丝杠动态测量仪对环境条件及温度变化影响的补偿为例,加以说明。
丝杠动态测量仪,用圆光栅作测量转角的角度标准,用激光波长作测量线位移的长度标准。利用同步测量角位移和线位移,把两路信号通过比相,或通过比较两路信号的脉冲个数,而实现对丝杠参数的检验。仪器在工作过程中,由于温度的影响,被测丝杠将伸长或缩短,此外,当环境温度、气压、湿度偏离标准状态时,激光波长也将发生变化,这些都将带来测量误差。下面介绍的补偿方案,假定在测量过程中,环境的温度、气压、湿度不再变化。因此,这些因素引起的误差,可看作是与测量长度成线性关系的系统误差,在全长上误差是线性累加的。根据这样的考虑,因此,可以采用在激光一路信号中增减脉冲数的办法来进行补偿。在补偿时,先测出环境的温度、气压、湿度,再根据修正公式计算出在被测长度上应补偿的数值。假设,根据实测的环境条件,计算得每米累积补偿量为5斗m,工作台每移动半个波长,激光一路发出一个脉冲,所以Sym相当于Sym/( A/2)=Ⅳ1个脉冲
(A的单位为l.t,m)。这Ⅳ,个脉冲数需要在Im长度内给以均匀补偿。在Im长度内的激光脉冲数为M,= lOOOOOOym/( A/2)。因此,为了将5斗m的误差量在Im长度内补偿掉,就需要在每隔M,/Ⅳ.=2 xl05个激光脉冲时,对激光信号增减一个信号。如果计算得的累积补偿量5斗m是一个正数,那么就要求在每隔2×l05个信号时,对激光一路补进一个信号,即Im内补Ni个信号;反之,若计算所得的5斗m是一个负数,则就要求在每隔2x105个信号时,对激光一路堵住(减去)一个信号,即Im内堵住Ⅳ1个信号,这样就达到了补偿的作用。