图12 - 64所示为激光干涉仪测长的基本原理图，实物照片如图12 - 65所示，它是以IRM-V536/TR1激光光波的波长为基准对各种长度量进行精度测量。主要由以下几部分组成：

   (1)激光光源。一般采用单模稳频氦一氖气体激光器，使用输出波长A’=0.6328 htm的红光。这种激光器的频率可达l03 Hz，相干长度可达300km。

   (2)干涉系统。是基于迈克尔逊千涉的原理，被测长度位移量通过干涉仪的测量臂引入，对光波的相位进行调制，再由干涉仪中两臂光波的干涉实现对位移量的解调。

   (3)数字显微镜。用来对所测物体进行瞄准，使干涉仪的干涉信号处理部分和被测量之间实现同步。

   (4)干涉条纹计数和记录显示部分。对干涉条纹计数并显示出来。

   由激光器发出的光经分光镜分为两束，一束射向干涉仪的固定参考臂，经参考臂反射镜返回后形成参考光束；另一束射向干涉仪测量臂，测量臂中的反射镜将随被测长度位移而移动，这一束光从测量反射镜返回后形成测量光束；测量光束和参考光束的相互叠加干涉成干涉信号。干涉信号的明暗变化次数直接对应与测量镜的位移。

   因此，由数字显微镜发出对Ⅳ的起始计数点，便可以通过对Ⅳ的计数得出位移￡的值。

   硬件的构建

   激光器被固定在工作平台的一端。移动平台可以在工作平台上沿导轨平移，线纹尺安装在移动平台上随其一起移动，平台上上装有反光镜。线纹尺上方装有CCD进行瞄准和拍摄。