(1)温度稳定性好。G4PF50W电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。而电阻式传感器有电阻，供电后产生热量；电感式传感器有铜损、磁游和涡流损耗等，易发热而产生零漂。

   (2)结构简单。电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证较高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力、高冲击、过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。

   (3)动态响应好。电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小（约几个10。5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小、很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在数兆赫兹的频率下工作，特别适用干动态测量。又由于其介质损耗小，可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。

   (4)可以实现非接触测量，具有平均效应。例如，非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。

   电容式传感器除了上述的优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、力，以及很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力高，能敏感0. Olym甚至更小的位移；由于其空气等介质损耗小，采用差动结构并接成电桥式时产生的零点残余电压极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。