静电释放(ESD)／电气过载(EOS)在电子工业中的危害

   在电子工业中， VN750-B5TR-E随着集成度越来越高，集成电路的内绝缘层越来越薄，互连导线宽度与间距越来越小。例如，CMOS器件绝缘层的典型厚度约为O.lUm，其相应耐击穿电压在80～100V; VMOS器件的绝缘层更薄，击穿电压为30V。而在电子产品制造及运输、存储等过程中所产生的静电电压远远超过CMOS器件的击穿电压，往往会使器件产生硬击穿或软击穿（器件局部损伤）现象，使其失效或严重影响产品的可靠性。

   电子产品制造中的静电源

   (1)人体静电

   人体的活动，人与衣服、鞋、袜等物体之间的摩擦、接触和分离等产生的静电是电子产品制造中主要的静电源之一。人体静电是导致器件产生硬（软）击穿的主要原因。人体活动产生的静电电压约为0.5～2kV。另外，空气湿度对静电电压的影响很大，因此在干燥环境中还要上升1个数量级。典型的相对湿度与人体活动带静电的关系。

   人体带电后触摸到地线，会产生放电现象，人体就会产生不同程度的电击感反应，反应的程度称为电击感度。不同静电压放电过程中人体的电击感度。

   (2)工作服

   化纤或棉制工作服与工作台面、坐椅摩擦时，可在服装表面产生6 000V以上的静电电压，并使人体带电。此时与器件接触时，会导致放电，容易损坏器件。

   (3)工作鞋

   橡胶或塑料鞋底的绝缘电阻高达l013Q，当与地面摩擦产生静电使人体带电。