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脊宽和脊高对载流子密度的影响

发布时间:2008/12/5 0:00:00 访问次数:518

  首先考虑脊高对注入载流子密度的影响。我们这里考虑到脊高是图1中刻蚀掉的深度矽。为了保证单模条件,这个深度一定要小于6.5/2=3.25 gm,所以我们在图1中假设了3.2pm,这个深度对光场的限制较强;用silvaco进行模拟,并给出模拟结果,

  下面我们考虑保证单模条件下将莎值减小到2pm。利aa线和bb线的结果分别如图1和图2所示。

  图1 垂直方向载流子浓度的变化

  图2 水平方向载流子浓度的变化

  由图1可以看出,沿aa方向的载流子密度受脊高的影响不大,即使在光场比较集中的地方变化也较小;沿bb方向,差别最大的位置也不过相差了1%左右,所以脊高对载流子密度的影响并不大。

  对于脊宽度影响,我们考虑3um、4um、5um三种宽度的载流子密度分布,并分别给出脊高在3.2pm和2pm时关于这三种宽度的峰值载流子密度分布情况,如表1所示。

  表1 三种脊宽的峰值载流子密度分布情况

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  首先考虑脊高对注入载流子密度的影响。我们这里考虑到脊高是图1中刻蚀掉的深度矽。为了保证单模条件,这个深度一定要小于6.5/2=3.25 gm,所以我们在图1中假设了3.2pm,这个深度对光场的限制较强;用silvaco进行模拟,并给出模拟结果,

  下面我们考虑保证单模条件下将莎值减小到2pm。利aa线和bb线的结果分别如图1和图2所示。

  图1 垂直方向载流子浓度的变化

  图2 水平方向载流子浓度的变化

  由图1可以看出,沿aa方向的载流子密度受脊高的影响不大,即使在光场比较集中的地方变化也较小;沿bb方向,差别最大的位置也不过相差了1%左右,所以脊高对载流子密度的影响并不大。

  对于脊宽度影响,我们考虑3um、4um、5um三种宽度的载流子密度分布,并分别给出脊高在3.2pm和2pm时关于这三种宽度的峰值载流子密度分布情况,如表1所示。

  表1 三种脊宽的峰值载流子密度分布情况

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