高性能新结构InGaP/GaAs异质结双极型晶体管
发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:435
报道了一种采用u形发射极新结构的高性能ingap/gaas hbt.采用自对准发射极、leu等先进工艺技术实现了特征频率达到108ghz,最大振荡频率达到140ghz的频率特性.这种新结构的hbt的击穿电压达到25v,有利于在大功率领域应用.而残余电压只有105mv,拐点电压只有0.50v,使其更适用于低功耗应用.同时,还对比了由于不同结构产生的器件性能的差异.
关键词: | 异质结双极型晶体管 u形发射极 自对准发射极 热处理能力 |
参考文献: | [1]liu w.the handbook of ⅲ-ⅴ heterojunction bipolar transistor.john willy & sons,1998 | | |
| [2]qian yongxue,liu xunchun,wang runmei,et al.self-aligned gainp/gaas hbt device.chinese journal of semiconductors,2002,23(5):513(in chinese)[钱永学,刘训春,王润梅,等.自对准gainp/gaas hbt器件.半导体学报,2002,23(5):513] | | |
| [3]shi ruiying.research on the hbt with novel structures and its applications in optic driver ic.doctorial dissertation of institute of microelectronics of chinese academy of sciences,2003[石瑞英.新结构hbt器件研究及在驱动电路中的应用.中国科学院微电子中心 | | |
| [4]lee y s,park c s.structure optimization of ingap/gaas hbt for power amplifier applications.proceedings of radio and wireless conference,2001:57 | 实在抱歉,只能弄到栽要. |
报道了一种采用u形发射极新结构的高性能ingap/gaas hbt.采用自对准发射极、leu等先进工艺技术实现了特征频率达到108ghz,最大振荡频率达到140ghz的频率特性.这种新结构的hbt的击穿电压达到25v,有利于在大功率领域应用.而残余电压只有105mv,拐点电压只有0.50v,使其更适用于低功耗应用.同时,还对比了由于不同结构产生的器件性能的差异.
关键词: | 异质结双极型晶体管 u形发射极 自对准发射极 热处理能力 |
参考文献: | [1]liu w.the handbook of ⅲ-ⅴ heterojunction bipolar transistor.john willy & sons,1998 | | |
| [2]qian yongxue,liu xunchun,wang runmei,et al.self-aligned gainp/gaas hbt device.chinese journal of semiconductors,2002,23(5):513(in chinese)[钱永学,刘训春,王润梅,等.自对准gainp/gaas hbt器件.半导体学报,2002,23(5):513] | | |
| [3]shi ruiying.research on the hbt with novel structures and its applications in optic driver ic.doctorial dissertation of institute of microelectronics of chinese academy of sciences,2003[石瑞英.新结构hbt器件研究及在驱动电路中的应用.中国科学院微电子中心 | | |
| [4]lee y s,park c s.structure optimization of ingap/gaas hbt for power amplifier applications.proceedings of radio and wireless conference,2001:57 | 实在抱歉,只能弄到栽要. |