中国MEMS研究与开发进程

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:507

王立鼎
大连理工大学微系统研究中心大连 116023
微机电系统(micro electro mechanical systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科，其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化，因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义，13年来中国mems研发的总体概况，以及关注的热点。 　
research and development of mems in china

wang liding，luo yi

(mems research center,dalian university of technology,dalian 116023)

abstract： mems(micro electro mechanical systems) is a newly developing intercross subject since 1980s'.it includes energy,micro driver,micro actuator,micro sensor,micro controller and interface.mems can miniaturize and integrate many kind of products,so it has a widely use and very good prospect of industrialization in many fields.significance and characteristic of mems,research and development of mems in china in the past thirteen years and interesting points have been summarized in this paper.

key words： mems;miniaturization;integration
1 微机电系统学科的重大意义
1.1 微机电系统学科内涵、重大意义
微机电系统(mems)是指适于批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理和控制及通讯接口电路、能源等于一体的能完成特定功能的微系统。mems是多学科交叉的前沿研究领域，它涉及
电子工程、机械工程、材料工程、信息工程、物理学、化学、光学以及生物医学等学科与技术。mems广义上包含了微小型和微米机械。
自1987年7月一个新兴交叉学科--mems诞生以来，为当今的信息时代增添了新的色彩。它不仅具有微电子的信息获取与处理的功能，而且兼有动作信息的执行功能。它囊括声、光、热、力、电、磁、化学、生物

wang liding，luo yi

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