SOI的发展和特点
发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:335
绝缘体上硅(soi)技术已有30多年的历史，它开始于20世纪60年代的蓝宝石上异质外延硅(sos)。soi技术的发展可以分为3个阶段[27~29]：第一阶段是在20世纪60年代，蓝宝石上异质外延硅
绝缘体上硅(soi)技术已有30多年的历史，它开始于20世纪60年代的蓝宝石上异质外延硅(sos)。soi技术的发展可以分为3个阶段[27~29]：第一阶段是在20世纪60年代，蓝宝石上异质外延硅
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