位置：51电子网 » 技术资料 » 其它综合

芯片制造空气污染

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:797

普通空气中含有许多污染物，只有经过处理后才能进入洁净室。最主要的问题是含有在空气中传播的颗粒，一般指微粒或浮尘。普通空气包含大量的微小颗粒或粉尘，见图5.5。 微小颗粒（悬浮颗粒）的主要问题是在空气中长时间飘浮。而洁净室的洁净度就是由空气中的微粒大小和微粒含量来决定的。
美国联邦标准209e 规定空气质量由区域中空气级别数来表示。3 标准按两种方法设定，一是颗粒大小，二是颗粒密度。 区域中空气级别数是指在一立方英尺中所含直径为 0.5 微米或更大的颗粒总数。一般城市的空气中通常包含烟,、雾、气。每立方英尺有多达五百万个颗粒, 所以是五百万级。随着芯片部件尺寸的更新换代，不断提高的芯片灵敏度要求越来越小的颗粒。4
图示5.6表显示了标准 209e 规定的颗粒直径与颗粒密度的关系。图示5.7

普通空气中含有许多污染物，只有经过处理后才能进入洁净室。最主要的问题是含有在空气中传播的颗粒，一般指微粒或浮尘。普通空气包含大量的微小颗粒或粉尘，见图5.5。 微小颗粒（悬浮颗粒）的主要问题是在空气中长时间飘浮。而洁净室的洁净度就是由空气中的微粒大小和微粒含量来决定的。
美国联邦标准209e 规定空气质量由区域中空气级别数来表示。3 标准按两种方法设定，一是颗粒大小，二是颗粒密度。 区域中空气级别数是指在一立方英尺中所含直径为 0.5 微米或更大的颗粒总数。一般城市的空气中通常包含烟,、雾、气。每立方英尺有多达五百万个颗粒, 所以是五百万级。随着芯片部件尺寸的更新换代，不断提高的芯片灵敏度要求越来越小的颗粒。4
图示5.6表显示了标准 209e 规定的颗粒直径与颗粒密度的关系。图示5.7
-->
相关技术资料
6-23​MOSFET驱动器和碳化硅（SiC）二极管工作原理
6-23​PWM-VID和PSI两种控制模式技术应用参数设计
6-23​高频高功率供电电源芯片应用前景研究
6-23​ 130A、非隔离式、双相降压处理器核心技术介绍
6-23Intelli-Module​双两相降压MPC22163-130
6-23​PCI Express（PCIe）7.0标准应用探究
6-23TPU超高功率密度电源模块​MPC24380
6-21全新紧凑型解决方案QPQ3550应用探究
6-21功率半导体用树脂模塑结构NTC热敏电阻
6-21​新一代量子芯片Quantum Loon应用详解
6-21​AT-MEMORY AI处理技术参数设计
6-21​ARM和RISC-V处理器工作原理
相关IC型号

热门点击

 

推荐技术资料

罗盘误差及补偿
    造成罗盘误差的主要因素有传感器误差、其他磁材料干扰等。... [详细]
版权所有:51dzw.COM
深圳服务热线：13751165337  13692101218
粤ICP备09112631号-6(miitbeian.gov.cn)
公网安备44030402000607
深圳市碧威特网络技术有限公司
付款方式


 复制成功！