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边缘倒角和抛光

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:306

边缘倒角是使晶圆边缘圆滑的机械工艺(图3.23)。应用化学抛光进一步加工边缘,尽可能的减少制造中的边缘崩边和损伤,边缘崩边和损伤能导致碎片或是成为位错线的核心。


边缘倒角是使晶圆边缘圆滑的机械工艺(图3.23)。应用化学抛光进一步加工边缘,尽可能的减少制造中的边缘崩边和损伤,边缘崩边和损伤能导致碎片或是成为位错线的核心。


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