0．2-1μm IC生产线中二手Stepper解决方案

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:609

(上海微高精密机械工程有限公司，上海 201203)

摘要：通过对国内ic生产线及其stepper装备的现状、市场前景的分析，阐述了国内0．2-1μmic生产线中二手stepper解决方案。

关键词：分辨率； ic生产线；二手steppe广；解决方案

中图分类号：tn305 文献标识码：c 文章编号：1004-4507(2005)03-0004-34

1 国内ic生产线中stepper现状及市场前景

1．1 国内ic生产线现状

随着科学技术的不断发展和进步，我国微电子产业已进入蓬勃发展的新时期，特别是最近几年以来，我国ic产业的迅速崛起，令世人振奋，有目共睹。但由于受技术水平的限制和西方发达国家对中国的技术封锁，我国ic产业的发展和世界先进水平存在着一定的差距。目前，国际ic产业主体水平为中200mm晶圆、0．18-0．13μm工艺，而且正在向100nm水平过渡，并继续向100nm以下发展；国内ic产业主体水平为中125／中150mm晶圆、0．8 μm工艺，和国际先进水平相比落后约15年的差距。虽然通过合资公司引进的ic生产线已达到0．25 um的水平(如中芯国际可达到0．18μm)，但是和国际先进水平相比仍然落后1～2代。

1.2 国内ic生产线上stepper装备现状

最近4年我国半导体产业得到迅速发展，据北京半导体行业协会常务理事朱贻玮先生统计，至2003年底，国内已建成ic生产线9条，在建13条，拟建12条。这些ic生产线除φ300mm和部分φ200mm以外所选用stepper设备基本都属于二手设备。如上海松江台积电φ200mm ic生产线；珠海南科φ150mmic生产线，2003年底月产达2万片，当年投产，当年赢利；杭州士兰φ125mmic生产线,2003年投产，同年3季度实现盈利。经过近几年的快速发展，国内ic生产线己形成了以北京、上海、深圳为中心的三大ic产业基地。

1．3 国内二手stepper市场前景看好

1．3．1 二手stepper设备市场货源充裕

由于半导体产业是典型的技术主导型产业，技术更新周期短，全球通用的半导体设备折旧年限为5年，所以世界顶级半导体制造商为抢占新市场，抢占技术制高点，在建φ200mm、φ300mm晶圆代加工厂时，会将φ125mm、φ150mm晶圆生产线淘汰出局，于是就出现了大量的φ125mm、φ150mm晶圆二手stepper设备。这些淘汰下线的二手设备大部分进入中国市场。据应用材料公司执行副总裁王宁国博士预测，2004年全球二手设备市场会达到10亿美元，其中，中国市场将占70％。

另据美国应用材料公司统计，2003年≤0．15μm工艺的半导体设备订单达90％以上。这说明≥0．25μm工艺的半导体设备将被淘汰出局。

1．3．2 二手stepper设备为国内蓬勃发展的半导体生产线增添活力

蓬勃发展的国内半导体产业需要stepper设备的装备，由于国内stepper设备的生产尚未形成产业，国产stepper设备难以满足快速发展的半导体生产线需求。而二手stepper设备其价格低廉(相对于新设备而言)，仍具有可使用性，正好适合国内半导体产业的发展实情，于是就形成了充满生机的国内二手stepper设备市场。目前，国内φ125mm、φ150mm晶圆生产线上所使用的stepper几乎都采用二手设备。如上海先进公司在建线时的宗旨是：只要市场能买到二手设备，就绝不买新设备。可见，二手设备已成为国内半导体生产线上的一个亮点。

1．3．3 国内ic生产线发展目标明确

在“十五”期间我国仍将大规模集成电路生产线的建设列为半导体产业发展的重要内容，具体目标为：建设3-4条φ150mm芯片生产线，扩大市场适销对路产品的生产能力；建设4-5条φ200mm芯片生产线，形成0．35-0．18μm技术产品的生产加工能力；建设1—2条φ300mm芯片生产线，形成0．18-0．13μm技术产品的生产能力。到2005年全国集成电路产量要达到200亿块，销售额达到600-800亿元，约占当时世界市场份额的2％-3％，满足国内市场50％的需求；到2010年，全国集成电路产量要达到500亿块，销售额达到2000亿元左右，占当时世界市场份额的5％，满足国内市场50％的需求。为实现这一目标，国家、地方政府和企业联合投入，建设国家级集成电路研发中心，开发集成电路大生产技术。

总之，今后几年国内二手stepper设备市场的需求主要集中在φ125 mm、φ150 mm和部分φ200mm晶圆生产线;目前正在运行旧线技术改造及瓶颈部位的扩充；ic生产技术升级、产品换代导致的关键设备(如stepper)更新；运行中生产线上已失去可使用性stepper设备的更新。所以，国内二手stepper设备市场前景看好是无容置疑的。

2 国内ic生产线中二手stepper解决方案

通过以上的分析可见，国内迅速发展壮大的半导体生产线需要更第的stepper设备来装备。由于(1)国产stepper设备的生产尚未形成产业，难以满足市场需求；(2)国外发达国家对中国的技术封锁：(3)国内半导体产业投资资金不足等