1.材料特性
人造石英晶体具有最好的压电效应,广泛地应用于制造频率选择及频率控制元件,如石英谐振器、钟表振荡器、滤波器及声表面波滤波器等。
2.材料品质
2.1旋向
除非另有规定,一般均为右旋。
2.2双晶
可用区域内不允许存在电学或光学双晶。
2.3包裹体
可用区域内每1cm3允许的包裹体大小和数目如下:
尺寸 最大数目
30-70μm 8颗
70-100μm 4颗
100μm or bigger 1颗
2.4q值
按照iec758.v.2有关规定,q值以红外线α-3585值测定换算。vcec产品的q值一般作如下a、b、c分级:
a α-3585=0.024max. q=3.0×106min.
b α-3585=0.050max. q=2.4×106min.
c α-3585=0.069max. q=1.8×106min.
2.5品质控制
2.5.1 q值:以高压釜上中下三个不同生长区抽取的晶棒样品测试确定。
2.5.2 腐蚀隧道:在40倍显微镜下检查测知。
2.5.3 包裹体:将水晶棒浸过茴香油后,在强光下用肉眼逐根检查。
2.6种子取向及尺寸
2.6.1种子取向
2.6.1.1 除非另有规定均为0°00′。
2.6.1.2 x面与z轴的角度偏差:≤ ±15′。
2.6.1.3 z面与x轴的角度偏差:≤ ±15′。
2.6.1.4 x面与y轴的角度偏差:≤ ±15′。
2.6.2种子尺寸
2.6.2.1 y棒种子:z=2.5mm max;x=3.5mm max。
2.6.2.2 z棒种子:z=2.5mm max;厚度
3.精磨棒材的标准
3.1尺寸公差
x方向:±0.2mm max。
z方向:±0.2mm max。
3.2棒材表面角度偏差
z面与y′轴:±15′max。
z面与x轴: ±15′max。
x面与z′轴:±15′max。
x面与y′轴:±15′max。
3.3籽晶的平行中心位置
籽晶应位于晶棒中心的3mm阴影区内。
3.4表面处理及平整度
表面处理:gc80#max。
平整度:0.05mm max。