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基于MEMS技术的微型传感器

发布时间:2008/5/29 0:00:00 访问次数:349

李学东,余志伟,杨明忠

　　摘要：和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。

　　关键词：mems 技术；微型传感器；智能化；多功能化

微型传感器的特点

李学东,余志伟,杨明忠

　　摘要：和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。

　　关键词：mems 技术；微型传感器；智能化；多功能化

微型传感器的特点

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