BANNER传感器应用举例—晶圆检测
发布时间:2008/5/29 0:00:00 访问次数:414
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■晶圆检测
目的：检测晶圆盒中的晶圆
应用：激光发射器发出细小光束，带0.02水平矩形光缝的接收器能保证光束完全被晶圆挡住。晶圆盒被安装在一个垂直运动的升降器上，当升降器上下运动时检测。
传感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加装一个0.5mm（0.020）矩形光缝
■300mm晶圆检测
目的：检测300mm foup中晶圆的有无
应用：两个picodot传感器用来同时检测同一晶圆的边沿。如果只有一个传感器检测到了边沿，则认为晶圆错位，此方位也可用于检测双槽晶圆。对于短距离的应用，可选用pd45vn6c50.
传感器：pd45vn6c200
■检测晶圆盒
目的：可靠检测各种颜色的晶圆盒
应用：晶圆盒由不同颜色的材料制成。vs1系列聚焦式传感器在焦点处具有很高的增益，使其不受晶圆盒颜色和材料的影响。
传感器：vs1an5c10
■检测晶圆是否探出
目的：检测是否有凸出于晶圆盒的晶圆
应用：向外凸出的晶圆容易被折断或损坏，这会减少产量并能导致停工。md14bb6放大器配合sp8er1远程传感器，可提供一个非常小（1.5mm）的有效光束，对射式最大的检测距离为300mm（12”）。
传感器：sp8er1
放大器：md14bb6
■晶圆盒储存设备人身保护
目的：在半导体晶圆盒储存设备的机械手操作点进行人身保护
应用：设备中有一个活动的机械手，当有人遮挡光幕时，机械手将停止动作。
传感器：micro-screen安全光幕，usdkt2024c4yp2
■清洗槽中晶圆盒的检测
目的：检测清洗槽中晶圆盒的有无
应用：teflon外壳的光纤安装在清洗槽中对称的两侧。teflon包裹的光纤头不仅耐腐蚀而且在密封的液体容器中有很小的摩擦力。光纤还包含一个镜头以增大检测范围和有效光束。当清洗盒到位时，光束被阻断。
传感器：d12sn6fp
光纤：pie46ut
■晶圆中心的检测
目的：确定机械臂上晶圆的中心
应用：三个检测点用来检测机械臂上晶圆的中心。其中任何一条光束被阻断，系统控制器都会检测到。机械臂的编码器信息也输入到控制器，控制器分析传感器的输出以确定晶圆的位置。
传感器：d12sn6fp
光纤：pit46uht1
■检测晶圆的凸出/原点位置的确认
目的：确认两个状态;是否有突出的晶圆，机械臂的原点位置
应用：在移动门关上之前，对射式的m12发射器和ez-beam接收器用来检测是否有晶圆凸出于晶圆盒;picodot系列传感器，具有精密的聚焦点用来检测晶圆的边缘，以确定机械臂的原点位置。
传感器：pd45vn6c200， s12接收器/m126发射器
■真空环境中晶圆的检测
目的：检测真空环境中机械臂上是否有晶圆
应用：在晶圆的传送过程中，机械臂上必须保证有晶圆。但是从外部无法检测晶圆是否存在。vft-m8mvs可以连接真空室外部提供的一束光信号（在这种应用场合要使用两个）。特殊型号光纤imt753smvf（须成对使用）没有使用环氧材料或塑料，因为这种材料会对真空室产生污染。在真空室外部，塑料光纤pif66umvfa将光信号传送到放大器d12sn6fp.
传感器：d12sn6fp
光纤：vft-m8mvs，pif66umvfa & ml753smvf
目的：检测晶圆盒中的晶圆
应用：激光发射器发出细小光束，带0.02水平矩形光缝的接收器能保证光束完全被晶圆挡住。晶圆盒被安装在一个垂直运动的升降器上，当升降器上下运动时检测。
传感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加装一个0.5mm（0.020）矩形光缝
■300mm晶圆检测
目的：检测300mm foup中晶圆的有无
应用：两个picodot传感器用来同时检测同一晶圆的边沿。如果只有一个传感器检测到了边沿，则认为晶圆错位，此方位也可用于检测双槽晶圆。对于短距离的应用，可选用pd45vn6c50.
传感器：pd45vn6c200
■检测晶圆盒
目的：可靠检测各种颜色的晶圆盒
应用：晶圆盒由不同颜色的材料制成。vs1系列聚焦式传感器在焦点处具有很高的增益，使其不受晶圆盒颜色和材料的影响。
传感器：vs1an5c10
■检测晶圆是否探出
目的：检测是否有凸出于晶圆盒的晶圆
应用：向外凸出的晶圆容易被折断或损坏，这会减少产量并能导致停工。md14bb6放大器配合sp8er1远程传感器，可提供一个非常小（1.5mm）的有效光束，对射式最大的检测距离为300mm（12”）。
传感器：sp8er1
放大器：md14bb6
■晶圆盒储存设备人身保护
目的：在半导体晶圆盒储存设备的机械手操作点进行人身保护
应用：设备中有一个活动的机械手，当有人遮挡光幕时，机械手将停止动作。
传感器：micro-screen安全光幕，usdkt2024c4yp2
■清洗槽中晶圆盒的检测
目的：检测清洗槽中晶圆盒的有无
应用：teflon外壳的光纤安装在清洗槽中对称的两侧。teflon包裹的光纤头不仅耐腐蚀而且在密封的液体容器中有很小的摩擦力。光纤还包含一个镜头以增大检测范围和有效光束。当清洗盒到位时，光束被阻断。
传感器：d12sn6fp
光纤：pie46ut
■晶圆中心的检测
目的：确定机械臂上晶圆的中心
应用：三个检测点用来检测机械臂上晶圆的中心。其中任何一条光束被阻断，系统控制器都会检测到。机械臂的编码器信息也输入到控制器，控制器分析传感器的输出以确定晶圆的位置。
传感器：d12sn6fp
光纤：pit46uht1
■检测晶圆的凸出/原点位置的确认
目的：确认两个状态;是否有突出的晶圆，机械臂的原点位置
应用：在移动门关上之前，对射式的m12发射器和ez-beam接收器用来检测是否有晶圆凸出于晶圆盒;picodot系列传感器，具有精密的聚焦点用来检测晶圆的边缘，以确定机械臂的原点位置。
传感器：pd45vn6c200， s12接收器/m126发射器
■真空环境中晶圆的检测
目的：检测真空环境中机械臂上是否有晶圆
应用：在晶圆的传送过程中，机械臂上必须保证有晶圆。但是从外部无法检测晶圆是否存在。vft-m8mvs可以连接真空室外部提供的一束光信号（在这种应用场合要使用两个）。特殊型号光纤imt753smvf（须成对使用）没有使用环氧材料或塑料，因为这种材料会对真空室产生污染。在真空室外部，塑料光纤pif66umvfa将光信号传送到放大器d12sn6fp.
传感器：d12sn6fp
光纤：vft-m8mvs，pif66umvfa & ml753smvf
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■晶圆检测
目的：检测晶圆盒中的晶圆
应用：激光发射器发出细小光束，带0.02水平矩形光缝的接收器能保证光束完全被晶圆挡住。晶圆盒被安装在一个垂直运动的升降器上，当升降器上下运动时检测。
传感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加装一个0.5mm（0.020）矩形光缝
■300mm晶圆检测
目的：检测300mm foup中晶圆的有无
应用：两个picodot传感器用来同时检测同一晶圆的边沿。如果只有一个传感器检测到了边沿，则认为晶圆错位，此方位也可用于检测双槽晶圆。对于短距离的应用，可选用pd45vn6c50.
传感器：pd45vn6c200
■检测晶圆盒
目的：可靠检测各种颜色的晶圆盒
应用：晶圆盒由不同颜色的材料制成。vs1系列聚焦式传感器在焦点处具有很高的增益，使其不受晶圆盒颜色和材料的影响。
传感器：vs1an5c10
■检测晶圆是否探出
目的：检测是否有凸出于晶圆盒的晶圆
应用：向外凸出的晶圆容易被折断或损坏，这会减少产量并能导致停工。md14bb6放大器配合sp8er1远程传感器，可提供一个非常小（1.5mm）的有效光束，对射式最大的检测距离为300mm（12”）。
传感器：sp8er1
放大器：md14bb6
■晶圆盒储存设备人身保护
目的：在半导体晶圆盒储存设备的机械手操作点进行人身保护
应用：设备中有一个活动的机械手，当有人遮挡光幕时，机械手将停止动作。
传感器：micro-screen安全光幕，usdkt2024c4yp2
■清洗槽中晶圆盒的检测
目的：检测清洗槽中晶圆盒的有无
应用：teflon外壳的光纤安装在清洗槽中对称的两侧。teflon包裹的光纤头不仅耐腐蚀而且在密封的液体容器中有很小的摩擦力。光纤还包含一个镜头以增大检测范围和有效光束。当清洗盒到位时，光束被阻断。
传感器：d12sn6fp
光纤：pie46ut
■晶圆中心的检测
目的：确定机械臂上晶圆的中心
应用：三个检测点用来检测机械臂上晶圆的中心。其中任何一条光束被阻断，系统控制器都会检测到。机械臂的编码器信息也输入到控制器，控制器分析传感器的输出以确定晶圆的位置。
传感器：d12sn6fp
光纤：pit46uht1
■检测晶圆的凸出/原点位置的确认
目的：确认两个状态;是否有突出的晶圆，机械臂的原点位置
应用：在移动门关上之前，对射式的m12发射器和ez-beam接收器用来检测是否有晶圆凸出于晶圆盒;picodot系列传感器，具有精密的聚焦点用来检测晶圆的边缘，以确定机械臂的原点位置。
传感器：pd45vn6c200， s12接收器/m126发射器
■真空环境中晶圆的检测
目的：检测真空环境中机械臂上是否有晶圆
应用：在晶圆的传送过程中，机械臂上必须保证有晶圆。但是从外部无法检测晶圆是否存在。vft-m8mvs可以连接真空室外部提供的一束光信号（在这种应用场合要使用两个）。特殊型号光纤imt753smvf（须成对使用）没有使用环氧材料或塑料，因为这种材料会对真空室产生污染。在真空室外部，塑料光纤pif66umvfa将光信号传送到放大器d12sn6fp.
传感器：d12sn6fp
光纤：vft-m8mvs，pif66umvfa & ml753smvf
目的：检测晶圆盒中的晶圆
应用：激光发射器发出细小光束，带0.02水平矩形光缝的接收器能保证光束完全被晶圆挡住。晶圆盒被安装在一个垂直运动的升降器上，当升降器上下运动时检测。
传感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加装一个0.5mm（0.020）矩形光缝
■300mm晶圆检测
目的：检测300mm foup中晶圆的有无
应用：两个picodot传感器用来同时检测同一晶圆的边沿。如果只有一个传感器检测到了边沿，则认为晶圆错位，此方位也可用于检测双槽晶圆。对于短距离的应用，可选用pd45vn6c50.
传感器：pd45vn6c200
■检测晶圆盒
目的：可靠检测各种颜色的晶圆盒
应用：晶圆盒由不同颜色的材料制成。vs1系列聚焦式传感器在焦点处具有很高的增益，使其不受晶圆盒颜色和材料的影响。
传感器：vs1an5c10
■检测晶圆是否探出
目的：检测是否有凸出于晶圆盒的晶圆
应用：向外凸出的晶圆容易被折断或损坏，这会减少产量并能导致停工。md14bb6放大器配合sp8er1远程传感器，可提供一个非常小（1.5mm）的有效光束，对射式最大的检测距离为300mm（12”）。
传感器：sp8er1
放大器：md14bb6
■晶圆盒储存设备人身保护
目的：在半导体晶圆盒储存设备的机械手操作点进行人身保护
应用：设备中有一个活动的机械手，当有人遮挡光幕时，机械手将停止动作。
传感器：micro-screen安全光幕，usdkt2024c4yp2
■清洗槽中晶圆盒的检测
目的：检测清洗槽中晶圆盒的有无
应用：teflon外壳的光纤安装在清洗槽中对称的两侧。teflon包裹的光纤头不仅耐腐蚀而且在密封的液体容器中有很小的摩擦力。光纤还包含一个镜头以增大检测范围和有效光束。当清洗盒到位时，光束被阻断。
传感器：d12sn6fp
光纤：pie46ut
■晶圆中心的检测
目的：确定机械臂上晶圆的中心
应用：三个检测点用来检测机械臂上晶圆的中心。其中任何一条光束被阻断，系统控制器都会检测到。机械臂的编码器信息也输入到控制器，控制器分析传感器的输出以确定晶圆的位置。
传感器：d12sn6fp
光纤：pit46uht1
■检测晶圆的凸出/原点位置的确认
目的：确认两个状态;是否有突出的晶圆，机械臂的原点位置
应用：在移动门关上之前，对射式的m12发射器和ez-beam接收器用来检测是否有晶圆凸出于晶圆盒;picodot系列传感器，具有精密的聚焦点用来检测晶圆的边缘，以确定机械臂的原点位置。
传感器：pd45vn6c200， s12接收器/m126发射器
■真空环境中晶圆的检测
目的：检测真空环境中机械臂上是否有晶圆
应用：在晶圆的传送过程中，机械臂上必须保证有晶圆。但是从外部无法检测晶圆是否存在。vft-m8mvs可以连接真空室外部提供的一束光信号（在这种应用场合要使用两个）。特殊型号光纤imt753smvf（须成对使用）没有使用环氧材料或塑料，因为这种材料会对真空室产生污染。在真空室外部，塑料光纤pif66umvfa将光信号传送到放大器d12sn6fp.
传感器：d12sn6fp
光纤：vft-m8mvs，pif66umvfa & ml753smvf
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