长野计器展出金属玻璃的新型压力传感器
发布时间:2008/5/29 0:00:00 访问次数:732
长野计器展出了通过使用非晶质金属玻璃使灵敏度比原来提高4倍的新型压力传感器。金属玻璃通过射出成形作为振动板使用（压力检测元件），通过在振动板上蒸镀应变片作为压力传感模块来工作。由于灵敏度得到提高，因此，不仅是在精密油压制动、或者提高了燃料喷射压的低环境负荷型柴油发动机等汽车领域，而且在以检测工厂空气压为主的产业领域也可广泛使用。
金属玻璃由日本东北大学金属材料研究所教授井上明久开发，长野计器采用了锆基和镍基两种金属玻璃。与现有压力传感器的振动板使用的不锈钢sus630相比，拉伸强度高达其1.5～2.5倍，而杨氏模量却只有其1/2～3/4。也说是说，金属玻璃具有高强度、低杨氏模量的特点，作为压力传感器使用，“高强度可提高耐压性能，低杨氏模量可提高灵敏度”。
振动板的加工方法方面，原来的sus630采用切削，而新型金属玻璃则是射出成形。应变片由蒸镀而成、检测压力的部分最薄，厚度在1mm以下。“虽然变减薄后灵敏度会提高，但是对压力的线性则会变差”，因此不能太薄。
目前已经开发出了在压力传感器模块中配备可将检测到的压力转换为电流的电路的压力转换器，成本“与量产产品差不多”。该技术由东北大学金属材料研究所、新一代金属·复合材料研究开发协会及ykk联合开发，在“第5届产官学协作推进会议”上获得了日本内阁总理大臣奖。
长野计器展出了通过使用非晶质金属玻璃使灵敏度比原来提高4倍的新型压力传感器。金属玻璃通过射出成形作为振动板使用（压力检测元件），通过在振动板上蒸镀应变片作为压力传感模块来工作。由于灵敏度得到提高，因此，不仅是在精密油压制动、或者提高了燃料喷射压的低环境负荷型柴油发动机等汽车领域，而且在以检测工厂空气压为主的产业领域也可广泛使用。
金属玻璃由日本东北大学金属材料研究所教授井上明久开发，长野计器采用了锆基和镍基两种金属玻璃。与现有压力传感器的振动板使用的不锈钢sus630相比，拉伸强度高达其1.5～2.5倍，而杨氏模量却只有其1/2～3/4。也说是说，金属玻璃具有高强度、低杨氏模量的特点，作为压力传感器使用，“高强度可提高耐压性能，低杨氏模量可提高灵敏度”。
振动板的加工方法方面，原来的sus630采用切削，而新型金属玻璃则是射出成形。应变片由蒸镀而成、检测压力的部分最薄，厚度在1mm以下。“虽然变减薄后灵敏度会提高，但是对压力的线性则会变差”，因此不能太薄。
目前已经开发出了在压力传感器模块中配备可将检测到的压力转换为电流的电路的压力转换器，成本“与量产产品差不多”。该技术由东北大学金属材料研究所、新一代金属·复合材料研究开发协会及ykk联合开发，在“第5届产官学协作推进会议”上获得了日本内阁总理大臣奖。
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