双重成像技术,Teron 640检测系统为光罩厂提供了必要的灵敏度,对先进的光罩进行准确的品质检验。

Teron检测机台的综合光罩质量测量是由光罩决策中心(RDC)所支持的，RDC是一套数据分析与管理系统，具备多种功能，支持缺陷的自动识别判断，缩短生产周期，并减少影响成品率的与光罩相关的掩模图案错误。

重要特性是发送（Tx）和接收（RX）状态之间的快速切换能力（1μs，典型值）。

1.8V至18V系统的双输入单片式电源优先级排序器LTC4420。

为了实现便携性、在欠压期间保持存储器运作、以及在电源缺失时确保平稳的停机，电子系统采用电池和电容器作为后备电源。

自有芯片工厂的惯性MEMS传感器工艺，各项性能指标均处于业内领先水平，其中供电电压为1.71V～3.6V，正常工作电流可低至 800uA，内部陀螺仪噪声小于5mdps/squarHz，加速度计噪声小于100ug/squarHz，上机贴片零漂小于+/-10dps和50mg。

所有模型的模拟电压输出均与灵敏度水平（40~80mV/A）成正比，具体取决于模型，典型响应时间为5μs。GHS传感器并非简单的开环霍尔效应ASIC传感器，该系列产品具有独特的主集成导体，实现了梯度测量，能够在电力电子应用中实现出色的外场抗扰度。

这些专用设计整合了通过现场验证的技术和可编程内部温度补偿（EEPROM），从而确保在整个温度范围内实现高性能精度、1.3%的最高失调漂移和1.5%的增益漂移。

GHS系列由单个5V电源供电,工作温度范围为-40~+125℃,适于任何恶劣的工业应用。