等效负载阻抗串并联电容组成的Г型匹配网络

发布时间:2020/10/31 12:03:27 访问次数:532

射频阻抗匹配的基本原理和常见的匹配网络类型，以串并联电容组成的Г型匹配网络为例，利用史密斯圆图，阻抗匹配的工作原理。介绍射频等离子技术在微电子工艺设备中的应用。自动匹配网络的检测电路、电机驱动电路和控制电路，提出了优化自动阻抗匹配能力的方法。

等离子体被称为物质的第四态。等离子体加工技术在薄膜制备、清洗等微电子工艺设备中有广泛的应用。射频经过匹配网络后，加到真空室里面反应气体电离产生等离子体。由于腔室压力、气体流量等工艺参数的变化，其等效负载阻抗会发生波动，造成阻抗失配，反射功率增大。反射功率会返回到射频源内部，变成热量损耗，也会在传输线上产生驻波高压，容易损坏射频源内部器件，严重时造成辉光不稳定，影响加工产品的性能。随着技术进步和产品升级，在工艺上对等离子体的稳定性和阻抗匹配的快速性等要求越来越高，因此良好的自动阻抗匹配网络显得尤其重要。

制造商: Texas Instruments

产品种类: 开关稳压器

RoHS: 详细信息

安装风格: SMD/SMT

封装 / 箱体: VQFN-14

输出电压: 1 V to 34.2 V

输出电流: 6 A

输出端数量: 1 Output

最大输入电压: 36 V

拓扑结构: Buck

最小输入电压: 3 V

开关频率: 200 kHz to 2.2 MHz

最小工作温度: - 40 C

最大工作温度: + 150 C

封装: Cut Tape

封装: MouseReel

封装: Reel

输入电压: 3 V to 36 V

静态电流: 0.6 uA

类型: Low EMI

商标: Texas Instruments

关闭: Shutdown

湿度敏感性: Yes

产品类型: Switching Voltage Regulators

工厂包装数量: 3000

子类别: PMIC - Power Management ICs

电源电压-最小: 3 V

单位重量: 30.800 mg

自整角机信号是一种高频高电压交流模拟信号，在火控系统中用来传递角度信息，电压的高低代表不同的角度大小，便于计算机系统处理，需将这些模拟信号进行数字化转换。

一种以8255A为控制芯片，利用模/数、数/模转换控制器对交流自整角机信号进行实时数字采集和模拟转换处理的控制方法，模/数转换器完成对外部输入的交流自整角机模拟信号进行数字化采集发计算机系统，数/模转换器完成对计算机系统的控制数据进行自整角机模拟化转换后发外部设备，8255A完成对转换数据进行输入输出控制。该控制方法具有控制灵活、电路简单、实时性强、可靠性高等特点，在火控系统中得到广泛应用。