MEMS技术用于生产微型机电传感器其尺寸从几个微米到毫米级

发布时间:2023/5/2 18:51:18 访问次数:308

MEMS技术涵盖微制造工艺，涉及在微观尺度内实现机械部件的移动。通过将电气和机械组件集成到单个芯片，MEMS技术可用于生产微型机电传感器，其尺寸从几个微米到毫米级。

与传统的机械传感器相比，MEMS传感器很容易实现大批量生产，从而具有更好的规模经济效果，其紧凑的尺寸、大幅降低的功耗和更高的灵敏度使MEMS传感器得到更广泛采用，尤其是在物联网领域。如今，在我们所有人都随身携带的智能手机、智能手表和健身追踪器中都采用了各种MEMS器件。例如，智能手机中的MEMS陀螺仪重量不到1毫克，其体积不到一粒沙子大小。

静电传导（Electrostatic transduction）涉及可变的电容，由于可以对微加工的硅进行掺杂以提供导电性，并且在制造过程中不需要其他材料，传统上这种技术是MEMS传感器中最受欢迎的类型。为一个数字MEMS麦克风的功能框图。传感器元件包含一个可移动的膜片和一个固定的背板（backplate），它们之间的电容随着声波的气压导致膜片弯曲度变化。板载放大器将该电容转换为电信号，然后由ADC转换为二进制数字信号。

AS1706 DB

制造商:AMS

产品描述:

放大器类型：AB 类

输出类型：1-通道（单声道）

不同负载时的最大输出功率 x 通道数：1.6W x 1 @ 4 欧姆

电压 - 电源：2.7 V ~ 5.5 V

板类型：完全填充

使用的 IC/零件：AS1706

所含物品：板

无铅情况/RoHs：无铅/符合RoHs

从正到负或从负到正的过零点电压的情况。它同样被可被用作方波生成器。过零检测电路还有许多应用，比如标志信号发生器，相位计和频率计等。过零检测电路可以用很多方法来设计，比如使用晶体管，使用运算放大器或是光耦 IC 等。该文中我们将使用运算放大器来打造一个过零检测电路，正如上面所说，此处的运算放大器用作比较器。

过零检测电路的理想波形如下

当正弦波形过零时，运算放大器会从正转负或是从负转正。这就是过零检测器如何检测波形过零的。输出波形为一个方波，所以过零检测器也被成为方波生成电路。

正弦波的负半轴，非反向引脚（参考电压）的电压大于反向引脚（输入电压），所以运算放大器的输出为高或正向饱和状态。一个正电压的波形。

使用光耦的过零检测电路

电路中我们使用了光耦来实现同样的过零检测电路。通过观察输出电压你可以发现每当输入交流波过零时，输出波形为高。