(1)密封筛选。器件应首先进行密封试验,参照GJB548方法1014进行细检漏和粗检漏,筛选密封合格的样品进行试验。

    (2)表面清洗。所有的器E1116AEBG-8E-F件在进行试验之前,都应使用合适的清洗剂(如酒精)去除油迹、挥发性有机物等可能影响结果分析的表面污渍。其中对于厚陶瓷或厚金属外壳封装样品,需在测试表面用砂轮打磨使局部变薄以利于定位穿刺。

   (3)预烘焙。器件应在测试之前在100℃±5℃下预烘焙1m以上。由于内部水汽会不断地释放,以提高测试的准确性。

   (4)系统校零。将器件安装在刺穿夹具中并进行真空抽气后,在100℃±s℃下保持10min以上,直至真空系统的背景压力达到4×10:toⅡ以下,背景显示物质不影响测试结果后才能进行测试。

   (5)穿刺测量。刺穿器件外壳体,抽取内部气体进入真空腔,用质谱仪测定器件内气体中的水汽含量及其他气氛含量(所有大于0.1%含量的气体都应进行测试)。

   取样技术直接关系到检测结果的准确度,取样的关键在于穿刺面的选取、穿刺力度和样品的有效固定:对于有平整外表面的气密封器件,将样品某个平整的外表面通过0形密封圈连接到内部气氛分析仪上,再将0形密封圈内部样品表面附近连同整个取样通道均抽成真空(真空度达10:toⅡ),然后用穿刺钢针在该表面扎一个小孔进行取样测试。而对于样品较小或没有可以利用的穿刺平面或表面易碎(如玻璃和白陶瓷封盖)的器件,需将样品放入一个密封的特制夹具内,夹具有一个孔隙可以通过0形密封圈连接到测试设备的取样台上,将夹具内腔及整个取样通道都抽成真空状态后,用穿刺钢针在样品外表面扎一个小孔进行取样测试。穿刺力的掌握主要靠经验积累,既要扎穿样品又不能导致样品表面出现大的变形而漏气。质谱仪测试按照扫描方式循环工作,按原子质量单位从1~512AMU重复进行计数。