X射线荧光测厚仪测量条件选择及方法

   1.测量条件选择M058LBN

   (1)尽可能选择大准直器,但不能超出被测区域面积,这样测试结果更准确。

   (2)测量时间越长,稳定度越好。考虑到测试效率和系统的稳定性。一般来说,单镀层不少于15s,双镀层和合金比例测量时间不少于30s,三镀层测量时间不少于45s。

   (3)测量程式的选择尽可能符合被测试样的结构,以免系统计算出现偏差。

   (4)自动对焦时应防止设备触碰试样,手动对焦的使用是很有效的。

   2.测量方法

   X荧光测厚是一种比较式测量,有无标准片校正和使用不同的校准方法进行校准都将对测量结果造成影响。如图4-46对Ni/Cu-6,3样品进行了测量实验。分别针对无校准、单点校准、两点校准的测量方法进行实验比对,分析不同测量方法对测量结果的影响。实验中除校准方法不同,其他的条件均保持一致。

   图⒋俑 无校准、单点校准、两点校准测量方法均值厚度偏差数据曲线图从图⒋46中可以看到,单点校准的厚度偏差是最低的,也就是说用越接近样品真实厚度的标准片对程序进行校准,测出的厚度值越准。