接口读出电路

   接口读出电路通过检测科氏加速度引起的沿着检测轴线的质量块的运动间接地检测科氏加速度。这个所诱导的运动是振荡的,它的公式可表示为这里的艿s0是运动的振幅,φs是驱动频率下感应轴响应的相位延迟。

F4-50R12KS4  

   过测量检测质量块和固定电极之间的电容来检测质量块的运动。电容随着质量块的位移而变化,因此是一个很好表示位移的指标。电容感测对于低成本惯性传感器是有吸引力的,因为它与大多数制造工艺兼容,并且电容接口电路可以容易地用于力驱动。电容通常使用横向的梳齿得到,主要为了达到最大的位移和电容的灵敏度,而且利于整个感应单元的灵敏度最大化。

    图5.4显示了最基本的读出接口电路示意图,包括感应单元和位置感应前端放大器。感应单元由4个同时兼具驱动和检测方向的梁的悬架构成。实际上,能够使驱动和检测模式独立优化的许多更复杂的解决方案是首选的。前端放大器将质量块和固定电极之间的微分电容转化为电压或电流。不幸的是,放大器的输出`总是被电子噪声干扰,这个电子噪声可以在模型中等效成在放大器的输人端 串联一个噪声源。这个噪声不仅限制了前端的位移分辨率,同时直接影响了整个接口电路的功率损耗。