这种技术的一个例子是使用加热器和温度传感器来稳定传感器的温度。通常选择超过传感器使用环境温度的温度范围,主要是因为在芯片上进行有效冷却很难实现。因此,维持温度稳定的微型加热炉得以制作实现,使得传感器在其内部可以工作在预先设定好的固定温度下。这样一个恒温传感器与环境温度的变化隔离,减少了校准过程中需要对这些变化对交叉敏感性的影响或者如何补偿进行考虑。注意,这样一个过大的传感器框图与图2。⒛中所示的传感器略有不同,因为加热器没有产生附加到环境温度中的温度。相

反,它通过微型加热炉与外界环境之间的热电阻产生了一个热通量,以决定微型加热炉内部的温度。

   DD800S33K2C 

   例如,温度稳定化技术能够用来减少声表面波(SAW)气体传感器对温度的交叉灵敏度[46,47]。正如在2.3.2节中讨论的那样,交叉灵敏度的一阶补偿可以通过使用与温度相关的没有化学敏感层的SAW器件去抵消带敏感层的SAW器件来实现。但是,因为这些器件之间不能完美匹配,残余的温度相关性仍然保留了下来,这可以通过稳定SAW器件的温度来消除。这个设计在本章参考文献中有详细描述,通过使用集成的智能温度传感器和铝加热器来实现。这些

器件被密封在热接触良好的SAW器件中,封装结构保证了器件与环境的热隔离效果。这个温度传感器和加热器被集成在一个控制回路,可编程的温度范围在硐~1⒛℃内,来稳定SAW传感器的温度在设置点误差控制在±0.01℃内。因此,SAW传感器可以工作在使它的灵敏度和响应时间最佳的温度上,并且不会受到环境温度变化的影响。