MIC22600YML是电子集成电路中必备的工艺材料之一
发布时间:2018/12/19 20:42:00 访问次数:1009
随着无机半导体器件物理学的日益成熟、集成电路工艺的涌现和发展,微电子加工技术在电子信息工业中显得越来越重要。其中,集成电路Cntegrated orcuit,I⑶技术是微电子技术的核心,是电子信息产业最关键、最重要的基础,而有机材料是集成电路中不可缺少的关键性材料u,到。例如,利用光化学反应进行图案转移的介质光刻胶(又称光敏抗蚀剂,photo resist), MIC22600YML是电子集成电路中必备的工艺材料之一,这些光刻胶绝大多数都是有机材料。电子集成电路中另一类重要的有机材料是聚酰亚胺,它们是典型的绝缘、钝化和牺牲材料。这类材料有着诸多的优越性能,如优异的耐热性和化学稳定性、良好的绝缘性和介电性能、理想的成膜性及简单的成型工艺等。第三类用于电子工业的经典有机材料是环氧树脂,它们常常被用于芯片的封装和绝缘倮护层等。有机材料在电子工业中的应用还包括:在显示器方面,作为光开关的液晶材料、或作为全彩滤波片的有机染料等;在存储产品中,有机材料可以作为光存储活性介质,如用在光盘和DVD中。总之,随着科学与应用的发展,有机材料的各种性能不断被利用,并在电子工业中发挥越来越重要的作用。
随着无机半导体器件物理学的日益成熟、集成电路工艺的涌现和发展,微电子加工技术在电子信息工业中显得越来越重要。其中,集成电路Cntegrated orcuit,I⑶技术是微电子技术的核心,是电子信息产业最关键、最重要的基础,而有机材料是集成电路中不可缺少的关键性材料u,到。例如,利用光化学反应进行图案转移的介质光刻胶(又称光敏抗蚀剂,photo resist), MIC22600YML是电子集成电路中必备的工艺材料之一,这些光刻胶绝大多数都是有机材料。电子集成电路中另一类重要的有机材料是聚酰亚胺,它们是典型的绝缘、钝化和牺牲材料。这类材料有着诸多的优越性能,如优异的耐热性和化学稳定性、良好的绝缘性和介电性能、理想的成膜性及简单的成型工艺等。第三类用于电子工业的经典有机材料是环氧树脂,它们常常被用于芯片的封装和绝缘倮护层等。有机材料在电子工业中的应用还包括:在显示器方面,作为光开关的液晶材料、或作为全彩滤波片的有机染料等;在存储产品中,有机材料可以作为光存储活性介质,如用在光盘和DVD中。总之,随着科学与应用的发展,有机材料的各种性能不断被利用,并在电子工业中发挥越来越重要的作用。