一种化学增幅的光刻胶在深紫外光加上酸的催化反应结构式
发布时间:2017/10/30 21:32:23 访问次数:595
由图7,83所示的结构式实际上是国际商业机器公司(International BusinessMachines,IBM)第一代~9d8nm的化学增幅的光刻胶,叫做APEX。UC2842A由于化学增幅的光刻胶的酸催化反应,它对光的吸收变得很小,深紫外光可以投射到光刻胶底部,断面形貌也因此变得接近垂直,如图7.81(b)所示。不过,由于光刻胶曝光显影依赖光酸的催化反应,如果工厂里面的空气中含有碱性(Basc)成分,如氨气、氨水(Amm。nia)、胺类有机化合物(Amine),对光刻胶顶部的渗透中和了一部分光酸,导致顶部局部线宽变大,严重时会导致线条粘连。
由图7,83所示的结构式实际上是国际商业机器公司(International BusinessMachines,IBM)第一代~9d8nm的化学增幅的光刻胶,叫做APEX。UC2842A由于化学增幅的光刻胶的酸催化反应,它对光的吸收变得很小,深紫外光可以投射到光刻胶底部,断面形貌也因此变得接近垂直,如图7.81(b)所示。不过,由于光刻胶曝光显影依赖光酸的催化反应,如果工厂里面的空气中含有碱性(Basc)成分,如氨气、氨水(Amm。nia)、胺类有机化合物(Amine),对光刻胶顶部的渗透中和了一部分光酸,导致顶部局部线宽变大,严重时会导致线条粘连。
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