几何量的检测广泛应用于机械加工、U08A60装配等领域，采用光电检测的方法来实现几何量的检测较之用机械或其他检测方法具有很多突出的优点，如非接触、响应快、测量对象多、材料适用性强、高分辨率等，当然，它也存在诸如易受环境污染、需要准直的光路等缺点。根据光电检测原理不同，几何量的光电检测技术可分为几何量图像检测技术和直接测量技术。直接测量技术主要用干涉仪或其他测量标尺（光栅）进行测量，而几何量图像检测技术主要应用CCD成像原理，通过计算机的图像（或通过硬件的方法）识别边缘，达到测量长度、孔径等目的。

   众所周知，光波在空间传播过程中，会发生衍射和干涉。由于激光有波长短、频率稳定性好、相干性好、相干长度大等优点，所以干涉仪一般采用气体激光器（如氦氖激光器）作为光源。根据激光光源的模数（频率）不同，激光干涉仪分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种。单频激光干涉仅由于检测信号是直流信号或缓慢变化的信号，存在电路的直流漂移的问题；同时单频激光干涉仪对装置的机械振动十分敏感，所以单频激光干涉仪测量精度较双频激光干涉仪低，应用较少。