插花式
发布时间:2017/6/1 20:13:41 访问次数:1229
这种方式是在圆片的选定位置用测试图形代替整个电路芯片,其数量和位置由需要而定。分布PACUSB-U3R可以是星形、柱状或螺线形。一般是在片子的每个象限中分布几个测试图形。插入的测试图形有两种形式:一种是由根据需要设计的一组测试结构组成的,用于工艺控制和可靠性分析;另一种是由改变了电路金属化连线的测试图形组成的,它可以获得内部单元电路的性能,对复杂的电路比较有用。如图13乇所示为测试图形在圆片上的=种分布形式,图13记(c)中,M为材料测试图,E为延伸金属化测试图。
这种方式是在圆片的选定位置用测试图形代替整个电路芯片,其数量和位置由需要而定。分布PACUSB-U3R可以是星形、柱状或螺线形。一般是在片子的每个象限中分布几个测试图形。插入的测试图形有两种形式:一种是由根据需要设计的一组测试结构组成的,用于工艺控制和可靠性分析;另一种是由改变了电路金属化连线的测试图形组成的,它可以获得内部单元电路的性能,对复杂的电路比较有用。如图13乇所示为测试图形在圆片上的=种分布形式,图13记(c)中,M为材料测试图,E为延伸金属化测试图。
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