照明光源和物镜在物的同侧，从物镜旁侧入射到物体的照明光束经反射后在物镜侧向通过， MC14052BDR2G当物体为无缺陷的反射镜面时，无光线进入物镜成像，得到均匀的暗视场。物体有缺陷时，光束通过衍射和反射射向物镜而形成物体的像。

   光源发出的光通过聚光镜成像在物面上或其附近的照明方式称为临界照明。照明光源灯丝成像到物平面上，这种照明在视场范围内有最大的亮度，而且没有杂光。其缺点是光源亮度的不均匀性将直接反映在物面上。

    光纤照明因照明均匀、亮度高、光源热影响小而得到广泛应用。根据照明光线端部排列形式和光束出射方向，分为环形光纤照明和同轴光纤照明等。是一环形光纤照明光源，光源发出的光经过聚光镜耦合进入光纤束，光纤束在另一端允束，形成一环形光纤排。光纤照明光能集中，能获得较均匀的高亮度照明区域。并且照明部分远离光源，解决了光源散热对被测物体的影响。