在LED外延片上需要连接金属电极(p极和n极)才能够与外电路连接导电。由于现JANTX2N6796在的外延片―般是在蓝宝石异质衬底上制备,蓝宝石不导电,因此需要刈LED外延片进行特别的结构设计以形成导电的p极和n极,pn极的形成过程实际上就是LED芯片的工艺流程。

    芯片工艺流程

   在LED外延片上对少n结的两个电极的加工,是制作LED芯片的关键工序,包括清洗、蒸镀、黄光、化学蚀刻、熔合、研磨等程序,详细流程如图5-19所示;然后进行划片、测试和分选,从而得到LED芯片。对于氮化镓基LED芯片而言,常用的蓝宝石衬底不导电,一般的结构设计是刻蚀出n~GaN层并在其表面蒸镀电极,然后在最外层的p-C・aN薄膜表面蒸镀p电极。