原材料气源供应系统的功能是向反应室内输运和提供各种反应气源。通过配A1109AS-H-1R6N置高精密的质量流量计、压力控制计、特殊设计的精密阀门等,该系统可以精确控制气源的供应量、供应时间和顺序,以及流过反应室的总气体流量与流速等,生长出所需要的高质量外延材料。气源供应系统主要包括Mo源供应子系统、氢化物供应子系统和特殊设计的生长/放空(Run/Vcnt)多路组合阀等组成。

   除气源的精确供应与有效控制外,该系统的设计与配置还需同时具备良好的气密性和使用与操作上的便捷性。例如,源气供应系统一般都与真空管路、氮气管路相连,它们平时都用阀门隔绝。这样的设计便于引入氮气等对设备进行“吹扫”和清洁,同时,也可对

管道与系统通过与真空抽气连结而实现有效排气,清空系统内的杂质和残留的污染物等。而且,这样的设计也能保持设备内外气密隔绝,维持管道和系统内部的超净环境,保障外延的高纯生长质量。另外,系统还会设置检漏口和异常情况下户动切换到安全状态的功能配置。