轮廓仪采用软件滤波后的测量结果
发布时间:2016/2/17 21:08:38 访问次数:615
激光轮廓测控系统功能齐全，具有高数据处理和输出能力，操作直观简便，测量精度AAT3517IGV-2.8-B-C-T1高，重复性好。它的分辨率达到亚纳米级；与其他轮廓仪相比，横向分辨率更是突出，在同类仪器中是最高的，有良好的通用性和性价比。此系统的两干涉臂是同轴昀，几乎不受机械振动和空气扰动的影响，能解决具有高度光洁表面、被测对象无损伤、无污染的测量问题。由于抗干扰性能优越，可以发展成在线检测设备。对各种不同试件，包括用玻璃和硅晶片制成的轮廓仪，校对标准等的测量结果都证实了它的优越性。
激光轮廓测控系统功能齐全，具有高数据处理和输出能力，操作直观简便，测量精度AAT3517IGV-2.8-B-C-T1高，重复性好。它的分辨率达到亚纳米级；与其他轮廓仪相比，横向分辨率更是突出，在同类仪器中是最高的，有良好的通用性和性价比。此系统的两干涉臂是同轴昀，几乎不受机械振动和空气扰动的影响，能解决具有高度光洁表面、被测对象无损伤、无污染的测量问题。由于抗干扰性能优越，可以发展成在线检测设备。对各种不同试件，包括用玻璃和硅晶片制成的轮廓仪，校对标准等的测量结果都证实了它的优越性。
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