永光化学电化处品保部/刘文治 台湾由市場報告顯示，2002年全球光阻劑市場規模達6.9億美元，其中i-line光阻為光阻劑出貨大宗；在no-critical layer製程及6吋晶圓廠的需求中，仍為不可或缺的主力材料。永光化学有鑑於此，已完成開發推出的epi660及epi670並持續供應商等i-line光阻产品，提供6至8英寸晶圆保护层及离子植入层使用，此系列产品能兼具能符合半导体業界制程需求優異的品質特性；並能以及现地及時实时供货的优势，降低因运送贮存產而衍生的各種品质变异问题，以确保證產品制程的稳定和安定性，切實滿足顧客的需求提升产品良率。 2002年全球ic光阻剂市场规模约达7亿美元，其中i-line光阻为光阻剂出货大宗；于非关键层(non-critical layer)制程及6英寸晶圆制程中，是不可或缺的主力材料。在g/i-line保护层与离子植入层光阻劑黄光制程当中，制程宽容度与解析的需求可直接影响制程良率；永光化学针对此特性需求，提供品质优良、具备高制程宽容度与高解析能力的光阻剂产品，可直接有助于制程良率的提升。另外在耐蚀刻与耐热特性上，永光光阻剂产品亦具有良好的产品特性，可配合制程条件、满足顾客使用的需求。 为了不斷地追求解析的提升与叠对的精确；半导体业界從製程參數的調整、乃至新設備持續投資不遺餘力；而在对光阻剂的品质控管上也日益严格。，半導體業界更強調重视供应链管理的品质管理系统，及的上游延伸，以scm供應鏈管理的品保系統，对光阻剂供货商实施品质稽核与控管，以期先期品質把關，期以达到全面品质提升之目的。然而在日常的控管中，黃光製程业者却仍不时为偶发的品质异常所困惑：供货商出貨保证正常品质正常的產品光阻，卻在进料日检验中时却发现或是膜厚或是曝光能量有异常。狀？在供货商品质稽核中品質资料中显示高度制程能力(high cpk level)的产品，却在使用端发现有不相稱偏高的不良率。？需要质疑供货商的品質保数据證；还是要无限提升cpk level的要求，由1.33到1.67再到2抑是3？而上述方向如此努力是否真能解决品质问题？凡此种种失控或是异常，其实均有脉络可循，甚或都可经由各项品质统计工具先期预知而加以防范。， 在此永光公司以可由光阻制造商的专业角度，從產品对光阻品质安定稳定性方面的问题，做一概略地介绍： 一、光阻產品剂成分中包含感光物的感光效能，可充分提供微影製成制程的功能要求，却也因为感光物具有光热易感及溶解度较差的特性，造成光阻剂会随存放时间延长增加而功能逐渐衰退，而存在一定的以致于使用效期普遍不长。各光阻剂供货商无不实施進行衰退周期之测试，以提供客户较佳的保存条件及有效使用時間期限的规范。以曝光能量为例，若以±5%为规格界线，可由实际保存温度的长期效能追踪，或利用加速实验（accelerated tests with arrhenius 1st order reaction kinetic assumptions），以衰退曲线95%信赖区间对应出产品衰退5%所需之时间周期（如图一），以此周期为产品之有效使用时间。 二、然而当光阻剂這些必须由海外供货商远渡重洋运送而来的时光阻劑，是否批次內或批次間均有相同的效期保證呢？若以儲存時間為例，種種因为商品批次的差異、时间的增加、储存運送环境的变迁及搬运扰动等因素，原先定义的品质变异議亦会随之而扩大，衰退曲线95%信赖区间更会有明显变化；也就是说，当使用点 (point of use) 就是离生产時間点 (point of production) 愈远久，储存、运送等无法掌握变量愈多，而有更明显的品质与效期差距。請試想在顧客倉庫中千里而來的光阻劑，是否已產生了更大的差異常態，而存在了效期不同的品質定期炸彈，若此以往突如其來發生的品質異常，是否也如常態般不足為奇了吧！（如图二、图三） 例如若有某国外光阻厂商提供三、再以批次間品質變異的角度觀之，各供應商不斷努力的提升cpk level，但在顧客的使用上，是否真能在key parameter感受到如此的品質結果呢？由生產時的品質測試結果為例：若為cpk =1.3367的产品品质，经长途运送达到顾客端后的品质再测试，批次間的差異或可能大幅增加，而使得cpk level可能会持續降低为1.00或更低，乃是无可避免的限制。曾經抱怨過使用品質與供應商品質文件的不符，或不良率不符合供應商提出的cpk value嗎？若不能控制期間變異產生的可能，即使供應商提出的cpk達到2或3，也無法反映在顧客需求上。（如圖三） 所以在控制產品光阻剂品质安定性上，光阻剂厂商实验室内衰退周期的测试只是其中最初步的品质指针；后续lead time的控制、储存运送条件的单纯化，才也是控制產品质变异的最重要因素。永光化学在台湾ic产业此供应链环节中，以现地生产及时供货，大幅降低因海空运温度变化、搬运震荡等劇