下一个自动化水平是加载和卸载晶圆。业界已经将前开【。】晶圆片匣( Front-OpeningUnified Pod，FOUP)确立为主要的晶圆承载体和传输体。FOUP通过多种机械原理被放置在机器、升降机和／或晶圆抽取器上，HY5DU281622ET-J或是用机械手将晶圆输送特定的工艺室、旋转卡盘上等。在某些工艺中，如一些工艺反应管，整个片匣都放在工艺反应室中。这一自动化水平称为“单按钮”操作。通过一个按钮，操作员激活加载系统，晶圆被加工然后再回到片匣中。在工艺周期的最后，机器发出警报声或点亮指示灯，操作员再将片匣移走。

   有些机器具有缓冲存放系统，使工艺过程总可以有新的晶圆准备被加工（或给图形化设备的放大掩模版），从而使机器的效率最大化。这些被称为储料器( stocker)。操作员将FOUP放在机器的上载器上，按下开始键，其后的工芑过程就交给机器来做。在直径300 mm及以上的晶圆，采用单片晶圆处理设备，晶圆可以在独立承载器中被传输。