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层厚的测量

发布时间:2015/11/10 19:45:55 访问次数:794

   氧化硅和氮化硅在晶圆表面呈现不同的颜色。众所周知,二氧化硅是透明的(玻璃是二氧化硅),但有氧化膜的晶圆却是有颜色的。IRF250N事实上我们所看到的颜色源于干涉现象,与雨后出现彩虹的原理相同。

   实际卜,硅晶圆上的二氧化硅层是反射型衬底上的层透明薄膜。,当有光线入射时,一部分照射到晶圆表面的光线被氧化物表面反射回来,而另一部分则穿过透臼明的氧化层在衬底表面发生反射(见图14.7)。当光线从氧化膜中出来时与晶圆表面的反射光线汇合,就使晶圆表面像有颜色一样:、这个现象就是为什么当我们所看晶圆的角度改变时,有氧化层的晶圆的颜色也会发生改变的缘故。

   晶圆准确的颜色由3个因素决定。第一个因素就是透明镀膜材料的特性——反射系数( index of refreaction);第一:个因素是视角( viewlng angle);第三个因素是镀膜的厚度(thickness【,f the film)。当入射光特性(例如,日光、荧光)和观察角度一定时,透明膜的颜色就成为膜厚的一个标志.图14.8是典型颜色与厚度的对应关系,表明了在氧化和扩散过程中颜色与厚度交化的规律特性,、但由于干涉现象的结果,单独的颜色分类并不能准确反映镀膜的厚度。

     

   氧化硅和氮化硅在晶圆表面呈现不同的颜色。众所周知,二氧化硅是透明的(玻璃是二氧化硅),但有氧化膜的晶圆却是有颜色的。IRF250N事实上我们所看到的颜色源于干涉现象,与雨后出现彩虹的原理相同。

   实际卜,硅晶圆上的二氧化硅层是反射型衬底上的层透明薄膜。,当有光线入射时,一部分照射到晶圆表面的光线被氧化物表面反射回来,而另一部分则穿过透臼明的氧化层在衬底表面发生反射(见图14.7)。当光线从氧化膜中出来时与晶圆表面的反射光线汇合,就使晶圆表面像有颜色一样:、这个现象就是为什么当我们所看晶圆的角度改变时,有氧化层的晶圆的颜色也会发生改变的缘故。

   晶圆准确的颜色由3个因素决定。第一个因素就是透明镀膜材料的特性——反射系数( index of refreaction);第一:个因素是视角( viewlng angle);第三个因素是镀膜的厚度(thickness【,f the film)。当入射光特性(例如,日光、荧光)和观察角度一定时,透明膜的颜色就成为膜厚的一个标志.图14.8是典型颜色与厚度的对应关系,表明了在氧化和扩散过程中颜色与厚度交化的规律特性,、但由于干涉现象的结果,单独的颜色分类并不能准确反映镀膜的厚度。

     

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