电阻、电压和电流3个参数的关系服从欧姆定律。其数学表达式如下所示：式中尺为电阻，为电压，AD822AR为电流，p为样品电阻率，L为样品长度，4为样品横截面积，形为样品宽度，D为样品高度。

   从理论上讲，晶圆的电阻率可以用万用表（见图14.2）测量得到，通过测量给定尺寸的样品在某一固定电流下的电压值来计算晶圆的电阻率。然而用万用表测量时，探针与晶圆材料之间酌接触电阻太大，以至于不能精确测量低掺杂情况下半导体的电阻率，四探针测试仪是一台用于测量晶圆和晶体的电阻率的设备。它有4个细小的，与电源和伏特计相连的内嵌式探针。一个四探针测试仪由4个排成一条线的细小金属探针组成。外侧的两个探针连接电源，内侧的两个探针连接伏特计。在测量过程中，电流流过外侧的两个探针，并fi通过内侧探针测量得出电压的变化值（见图14.3）?电流与电压值之问的关系由探针之间的距离和材料的电阻率共同决定。网探针测试仪测量抵消r测试时探针与晶圆之间的

接触电阻。