离化反应室
发布时间:2015/11/5 18:33:49 访问次数:501
“离子注入”这个名字就暗示了离子是该工艺的一部分。回顾一下， AD688AQ离子就是带正电荷或负电荷的原子或分子。被注入的离子是掺杂物原子离化产生的。离化过程发生在通有源蒸气的离化反应腔中。该反应腔保持约10。3托的低压（真空）。反应腔内部灯丝加热到其表面可以发射电子的温度。带负电的电子被反应腔中的阳极所吸引。电子从灯丝运动到阳极的过程中与杂质源分子碰撞，产生大量该分子所含元素形成的正离子．BF，源离化的结果如图11. 22所示。
另一种离化方法采用冷阴极技术产生电子，阴极和阳极间加高压电场，以自维持工艺产生电子。
“离子注入”这个名字就暗示了离子是该工艺的一部分。回顾一下， AD688AQ离子就是带正电荷或负电荷的原子或分子。被注入的离子是掺杂物原子离化产生的。离化过程发生在通有源蒸气的离化反应腔中。该反应腔保持约10。3托的低压（真空）。反应腔内部灯丝加热到其表面可以发射电子的温度。带负电的电子被反应腔中的阳极所吸引。电子从灯丝运动到阳极的过程中与杂质源分子碰撞，产生大量该分子所含元素形成的正离子．BF，源离化的结果如图11. 22所示。
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