一套干涉系统测量菇，两个坐标的方案，减少了一ICL8001G 套干涉系统，即将五角棱镜固定在中滑板上实现戈方向的测量，而立体直角锥棱镜固定在上滑板上实现），方向测量。但该系统的缺点是戈、y运动有交叉影响，测量光轴与工作物轴线不完全重合，存在一定的阿贝误差，直接影响整机的精度。因整机精度要求l l.t,m—0.5¨m的范围，该系统能满足要求。

   该干涉系统另一简化是取消了常规干涉系统中必备的准直系统，直接采用激光器发出的光束，因此也省去了接收元件前的聚光系统殁一系列的光阑，同时由于光束直径很细，使整套光学元件尺寸大大缩小，使整机的体积相应缩小。

   从整体结构布局考虑采取的是齐端式，由于结构限制不遵守共路原则，为减少外界环境对干涉系统精度的影响，一是用机罩将整个干涉系统罩在一起。为防止激光器的影响，将激光器与干涉仪隔开，采用单独的机罩，故使干涉仪的全部元件处于相同的外界环境。二是两光路条件尽量做到光程相同，故在参考光路中加梯形棱镜，做到两光路中经过光学元件的光程相等，同时也缩小了结构尺寸。

   在元件的选择上主要是调整、安装方便，采用了配对的立体直角锥棱镜、五角棱镜及直角棱镜等。这些光学元件虽加工精度要求高，但给装配调整带来了方便，适于工业生产需要。