通过以上分析，CND0008A04MC选取悬臂梁结构热电堆红外探测器进行研究，制作中吸收区和热偶区都设计开口用作释放。悬臂梁结构示意图见图3 -16。为了使最后的释放更加容易控制，需要在衬底进行腐蚀停止的设计，用来避免热偶的冷结也被悬空，如图3 -17所示。设计了采用硅衬底+氧化硅+较厚的多晶硅作为“仿衬底”，最后释放的是多晶硅层。在多晶硅层挖一个环形槽，生长氧化硅介质层后，氧化硅填充入槽。那么，整个释放区域就被氧化硅“包围”。具体步骤如图3 -18所示。在XeF：干法释放中，多晶硅和氧化硅的选择比高达400：1，这样可以有效的调节释放区域的面积和尺寸。

   首先，热偶条的材料选择需要考虑到塞贝克系数等参数祁lC兼容的要求。因此，P型多晶硅和N型多晶硅是较好的选择。塞贝克系数之差达200 VV/K，而且是MEMS工艺中常见的材料，制作简单。一般来说，热电堆红外探测器的热偶条都是成对的排布在介质膜表面，这样使热偶条的对数和宽度互相限制，同时也限制了吸收区的面积。针对这一问题，本书设计了一种热电堆红外探测器，

热偶条的两种材料分两层分布，而不是同时分布在介质支撑膜上，如图3 -19所示。两层之间添加Si0：作隔离，避免两层多晶硅制作时工艺互相影响造成结构损坏。