干涉显微镜工作台
发布时间:2015/5/31 19:54:08 访问次数:572
技术要求:AT65-0106①台面加负荷98N(中间),平行度变化不大0.01/280;②纵横微动量为±2.5,导轨与钢球间隙不大于0. 005;③两固定短导轨V型母线平行度误差不大于0.005/280。
图4 - 41是6JA型干涉显微镜工作台。此种工作台除了在水平面内能纵向、横向位移以及转动外,还能在垂直方向实现微量调整,以达到调焦的目的。
载物台14可在手的推力作用下,沿滑槽和滑板实现纵向、横向两个方向移动。转动转向手轮13,载物台可在3600范围内转动。转动微动手轮8,可带动与其固结的微动外螺纹5-起转动,并将转动传递给微动内螺纹6,由于受键片3的防转限制,使得微动内螺 纹6只能上、下微量运动,实现工作台在垂直方向微调,微调量由限位套10限位。如果被测件是圆形工件,可用V形定位附件1取代小盖板2。
可动工作台中最典型的是万能工作台,其结构如图4 -42所示,万能测长仪、卧式光较仪均采用这种工作台。为了在测量时使被测件处于理想位置,工作台有五个自由度运动。
①转动工作台升降手轮,借助于齿条9使工作台随轴10作垂直升降运动,升降范围0~ 105mm,升降数值可由手轮上的刻度盘读出,并由锁紧装置使轴10固定在任意位量上。
②转动千分读数筒4,可使滑座3沿双V形横向滚珠导轨7作O。25mm范围的横向位移,位移量可从千分读数筒上读出,其分度值为0. Olmm。技术要求:①变换10位置达到工作台微动至上下极限位置,定位明确,保证微动范围不小于6;②同时修正11 两Ra=0.8ym面达到9与5轴向间隙小于0.03;③件5与件6微动螺纹配合,旋转应舒适稳定;④件5与件8配合 螺纹清洗后,涂以环氧树脂拼紧;⑤当调至视场内看清干涉条纹后,工作台移动及转动时,视场内仍应看到干涉条纹, 且条纹宽度变化不超过1/10。
技术要求:AT65-0106①台面加负荷98N(中间),平行度变化不大0.01/280;②纵横微动量为±2.5,导轨与钢球间隙不大于0. 005;③两固定短导轨V型母线平行度误差不大于0.005/280。
图4 - 41是6JA型干涉显微镜工作台。此种工作台除了在水平面内能纵向、横向位移以及转动外,还能在垂直方向实现微量调整,以达到调焦的目的。
载物台14可在手的推力作用下,沿滑槽和滑板实现纵向、横向两个方向移动。转动转向手轮13,载物台可在3600范围内转动。转动微动手轮8,可带动与其固结的微动外螺纹5-起转动,并将转动传递给微动内螺纹6,由于受键片3的防转限制,使得微动内螺 纹6只能上、下微量运动,实现工作台在垂直方向微调,微调量由限位套10限位。如果被测件是圆形工件,可用V形定位附件1取代小盖板2。
可动工作台中最典型的是万能工作台,其结构如图4 -42所示,万能测长仪、卧式光较仪均采用这种工作台。为了在测量时使被测件处于理想位置,工作台有五个自由度运动。
①转动工作台升降手轮,借助于齿条9使工作台随轴10作垂直升降运动,升降范围0~ 105mm,升降数值可由手轮上的刻度盘读出,并由锁紧装置使轴10固定在任意位量上。
②转动千分读数筒4,可使滑座3沿双V形横向滚珠导轨7作O。25mm范围的横向位移,位移量可从千分读数筒上读出,其分度值为0. Olmm。技术要求:①变换10位置达到工作台微动至上下极限位置,定位明确,保证微动范围不小于6;②同时修正11 两Ra=0.8ym面达到9与5轴向间隙小于0.03;③件5与件6微动螺纹配合,旋转应舒适稳定;④件5与件8配合 螺纹清洗后,涂以环氧树脂拼紧;⑤当调至视场内看清干涉条纹后,工作台移动及转动时,视场内仍应看到干涉条纹, 且条纹宽度变化不超过1/10。
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