从氦氖激光器1发出的激光束经平行光管后将光束变为光斑直径达咖50mm的平行光，F1CA012V经反射镜2至分光器3随即将光束分成两路：一路光逶过分光器经反射镜4射人固定角锥棱镜5；另一路由分光器反射至可动角锥棱镜6。分光器3至固定角锥棱镜5为一固定的光程；分光器3至可动角锥棱镜6为一随工作台10移动而变化的光程，两者的光程差为激光半波长的偶数倍时出现亮条纹，奇数倍 时出现暗条纹，所以工作台10连续移动时就会产生亮暗交替变化的条纹。相移板7将干涉图样分为两组，此两组干涉条纹的位相差为900。分像棱镜组8是将两组位相差为90。的干涉条纹分别引入两个光电倍增管，光电倍增管将交替变化的亮暗信号变为两路位相差为90。的电信号，再经过放大整形电路实行倍频处理传递给计算机。装在横梁上的双管差动式动态光电显微镜9供作瞄准被检尺上的刻线用。当工作台10运动，即基准尺的刻线通过光电显微镜的两个狭缝时，刻线的影像即被置于两个狭缝后面的光电倍增管分别接收，经差动放大器，触发器转换成电脉冲作为计算机的指令信号，控制计算机使其计算结果显示出来并打印记录。

   周围的空气折射率可由折射率干涉仪测出，被测尺的温度由铂电阻温度计与铜一康铜热电偶测出，然后将其二项修正量在计算机上摆定，以便对测量结果进行自动修正。

   上面介绍的每种方法和原理，目前还在发展中。而且，这些数据会因具体条件而有很大的差别。为了得到针对具体应用对象的确切结果，常常要做实验研究工作，或者借鉴类似的工作研究成果，这样可使仪器设计更趋完善。