用偏振光的分析来得到有关被测量的信息是一种非常有效的方法。

   用椭圆仪测量薄膜，可以使EP1C4F324C7N分辨率达到0. Inm数量级，而且可以同时得到膜的厚度和折射率的数值。

   在干涉条纹细分技术中，目前精度最高的方法是用偏振光分析实现的。

   用偏振原理测量1/4波片和1/2波片等延迟片，对应的厚度误差在Inm左右，这是用直接测量厚度的方法难以实现的。

   共光路干涉显微镜的光路结构原理图，其关键是在显微镜的偏振光路中加入了Wollaston梭镜，它是由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成，它将入射线偏振光分为两束具有微小夹角、振动方向互垂直的线偏振光。这两束光通过显微物镜后产生一平行的剪切量AX投射到被测表面，从被测表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回，由Wollaston棱镜重新复合共线，穿过1/4波片和检偏器后发生干涉。由于两束光的横向剪切量AX小于显微镜的分辨率极限，因此在视场中只能看到单一双重像。当被测表面形貌在AX微区内的高度梯度不为零时，致两束相干光产生一定的光程差，在视场中相应的地方就会有强烈的光强变化，因而表面形貌的微观细节便清楚地呈现出来。