应用衍射原理的测量方法很多，如小孔细丝的测量、边缘瞄准都采用了衍射原理。最EP1C20F400I7常用的例子是计量光栅，其测量误差可表示为测长光栅：±(0.2+2×10-6/) pm，式中￡为被测长度。

   测角光栅可达l”或更高的精度。光栅应用的条件是要求清洁的环境，因此多适用于实验室。但密封方法的改善，以及电子线路的改进使光栅已经广泛用于金属切削机床。

   图2 -2是UMM500三坐标测量机的光栅系统的光路图。光导纤维1用来传光（照明灯是放在控制柜内），用透镜2和3使照明光准直，用平行光垂直照明光栅副的光栅41-光导纤维；2、3-透镜；4、5-光栅副；6、8-聚光镜：7-转向棱镜；9-光电三极管。和5，这两个光栅都是黑白光栅，栅距d=0.016mm，光栅间隙取0.25 mm左右，形成干涉莫尔条纹。改变光栅间隙可以改变条纹宽度。四个光电三极管9接收四相相位依次差900的信号，光电管的输出送到控制柜中进行放大、波形变换、细分、辨向和计数显示。电子细分采用幅度分割式32倍电子细分，分辨率为0.5¨m。

   图2 -3(a)为Leitz 2”数字分度头光学系统图，Leitz 2”光学分度头精度为2”，分辨率是1”，测量结果数字显示。仪器工作是逐(”)叠加，没有(’)和(”)的显示，测量结果可以用打印机打印。主轴前端和后端均采用密珠球球轴承，这种轴承能承受较大的轴向和径

向载荷，并能保持较高的旋转置中精度，但工艺性较差。