几种抗干扰和提高测量精度干涉光路的设计。在干涉仪的光路设计时，应系统AD517LH地考虑到干涉信号的质量、稳定性以及测量精度和对结构的要求等方面，图7-5表示其他几种激光干涉测长系统的光路布局。

   在图7 -5(a)中，只用一个角锥棱镜作为测量中的移动镜。从光源发出的光束由分束镜BSi分束后直接形成参考光束，而另一束则由测量臂调制后，由分束镜BS2与参考光束合成干涉。在实用上BSi和BS2还可以做成一体，形成较稳定的结构。

   图7 -5(b)是一种双程干涉仪结构。角锥棱镜M2仍作为测量反射镜，反射镜Mi是固定的参考反射镜，而反射镜M3是测量臂上的固定反射镜。由于测量光束茌移动镜M2中往返两次，所以对位移的灵敏度提高了一倍，产生了光学二倍频效果。这种结构还可设计成采用立方分光棱镜的组件布局结构，如图(c)所示。图(c)中把图(b)中的Mi、M3和BS合成为一体，在分束棱镜上镀以反射膜形成了M2和M3。这种结构使整个系统对外界的抗干扰性得到提高。

   图7 -5(d)是一种光学倍频的布局。这种结构使测量光束在测量移动镜内多次往返，实现了对位移灵敏度的提高，使之产生光学多倍频效果。此时，当M2每移动A/2k位移就产生干涉信号一个周期的变化（五为光束在移动镜中的往返次数），其灵敏度提高了后倍。