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光栅位移传感器测位移

发布时间:2015/3/14 20:23:18 访问次数:1027

   光栅位移传感器是广泛应用于精密机械制造中的一种测量工具,通常也称为光栅尺。 AD9884AKS-140栅尺的测量精度很高,可以用来进行纳米量级的位移测量,另外与输出模拟电信号的传感器不同,光栅位移传感器可以直接实现数字输出。

   1.光栅的概念

   由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅,如图5 -30所示。用玻璃制成的光栅称为透射光栅,它是在透明玻璃上刻出大量等宽等间距的平行刻痕,每条刻痕处是不透光的,而两刻痕之间是透光的。用不锈钢制成的光栅称为反射式光栅。光栅的刻痕密度一般为每毫米10,25,50,100,250线。刻痕之间的距离称为栅距形。设刻痕宽度为n,狭缝宽度为6,则形=a+b,一般情况下取a=b。

       

   2.光栅的工作原理

   把两块栅距相同的光栅刻线面平行安装,且让它们的刻痕之间有较小的夹角p。在刻线的重合处,光从缝隙透过形成亮带,如图5 - 31的a-o’线所示;在两光栅刻线的错开处,由于相互捎光作用而形成暗带,如图5 - 31的b-b’线所示。这种亮带和暗带形成的明暗相间的条纹称为莫尔条纹,莫尔条纹方向与刻线方向近似垂直,故又称横向莫尔条纹。相邻两莫尔条纹的间距为BH,其表达式为

   光栅位移传感器是广泛应用于精密机械制造中的一种测量工具,通常也称为光栅尺。 AD9884AKS-140栅尺的测量精度很高,可以用来进行纳米量级的位移测量,另外与输出模拟电信号的传感器不同,光栅位移传感器可以直接实现数字输出。

   1.光栅的概念

   由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅,如图5 -30所示。用玻璃制成的光栅称为透射光栅,它是在透明玻璃上刻出大量等宽等间距的平行刻痕,每条刻痕处是不透光的,而两刻痕之间是透光的。用不锈钢制成的光栅称为反射式光栅。光栅的刻痕密度一般为每毫米10,25,50,100,250线。刻痕之间的距离称为栅距形。设刻痕宽度为n,狭缝宽度为6,则形=a+b,一般情况下取a=b。

       

   2.光栅的工作原理

   把两块栅距相同的光栅刻线面平行安装,且让它们的刻痕之间有较小的夹角p。在刻线的重合处,光从缝隙透过形成亮带,如图5 - 31的a-o’线所示;在两光栅刻线的错开处,由于相互捎光作用而形成暗带,如图5 - 31的b-b’线所示。这种亮带和暗带形成的明暗相间的条纹称为莫尔条纹,莫尔条纹方向与刻线方向近似垂直,故又称横向莫尔条纹。相邻两莫尔条纹的间距为BH,其表达式为

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