微电子机械系统的研究进展
发布时间:2007/8/24 0:00:00 访问次数:363
型号：
关键字：MEMS， 微机械器件，微加工技术
简介：本文从微电子机械系统(MEMS)的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术,特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展,介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力,提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。
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关键字：MEMS， 微机械器件，微加工技术
简介：本文从微电子机械系统(MEMS)的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术,特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展,介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力,提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。
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