显微系统的特点及参数
发布时间:2008/12/26 0:00:00 访问次数:623
光学计量仪器中的显微系统可分为两类,一类用来观察物体表面的微观轮廓(如表面粗糙度),另一类用来瞄准或读数。对前一类,关键是其分辨率,并由此来决定系统的数值孔径、放大率等一系列参数;后一类则应从瞄准读数精度出发来决定其参数。下面分别对其参数进行讨论。
(1)放大率
用于瞄准/读数的显微系统,其放大率应保证瞄准精度的要求。物镜的放大率一般不高,但应准确,允差为0.1%~0.05%,否则将引入测量误差。在设计时还应考虑其结构形式,便于在装配时能调整其放大率到准确的数值。而用于观察物体细节的显微系统,要求有较高的放大率,但对其数值并不要求准确,仪器中标出的放大率只是其名义值,允差可为8%。
(2)数值孔径
系统的数值孔径应满足仪器的使用要求,因此作微细观察的显微系统有较大的数值孔径;而瞄准/读数用的系统的数值孔径较小,其景深相应较大,因此这类系统不能用做光轴方向的精密定位。
(3)视场
视场的大小也应满足仪器的使用要求——需要观测的范围。视场及数值孔径都极大时,镜头设计的难度大大增加。
(4)工作距离
用于微细观察用的显微系统,由于其放大率及数值孔径都较大,因而物镜焦距短,其工作距离相应也很短,若在使用上对工作距离有特别的要求,则物镜设计时应采用特殊结构型式;而瞄准/定位用的显微系统,往往有较长的工作距离,由于其数值孔径较小,一般是易于满足的。
(5)光阑位置
在一股显微系统中,对光阑的位置没有什么特殊要求,设计者可根据校正像差的需要或结构尺寸的要求自行安排,一般将光阑选取在物镜框处,如图1所示。若此系统用于瞄准/读数,则从图中可以看出:物体atb,经光学系统1后成像(ais{)于分划板3上。虽然存在调焦误差,但只要物体的移动量∠不大于物镜的景深,物体移至a2b2后人眼是察觉不出的。这时实际像面移至a;s;,用分划板3进行测量就产生了2△d的误差。物镜的景深δj可用下式估算
式中,na为物镜的数值孔径;γ为显微镜的视放大率;凡为光波波长;刀为物方介质折射率;`为相应于人眼近点距的视度;第一项是由光的衍射所决定的量;第二项是与人眼分辨率有关的量;第三项是由人眼的调节所引起的。若系统中有分划板,则第三项的作用就不存在,故光学系统的景深受仪器及人眼的约束。人眼的焦深不仅与眼睛光学系统有关,还受从视网膜到大脑的神经系统的影响(例如当物的亮度较低时,人眼仅能感受物的低频信息,其焦深也随之增加),因此上式计算的结果只是近似的,实际的景深值还稍大。
图1 光阑在物镜上的显微系统
由于景深是客观存在的,故无法直接消除其影响。但如图2那样将光阑2移至物镜l的后焦面处,这时所有的主光线在物方均平行于光轴,在像方均通过后焦点。并且不论物体移至何处,主光线的方向均不变化,即分划板3上像光斑的中心位置始终不动,故不产生测量误差。
图2 物方远心光路
将孔径光阑放在物镜的后焦面上,其入瞳在物方无穷远处,故称为物方远心光路或焦阑光路。但并不是在任意物镜的后焦面上放一光阑就构成远心光路系统,而是需要进行专门的设计。测量系统中瞄准/读数用的显微系统,都应采用远心光路。
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光学计量仪器中的显微系统可分为两类,一类用来观察物体表面的微观轮廓(如表面粗糙度),另一类用来瞄准或读数。对前一类,关键是其分辨率,并由此来决定系统的数值孔径、放大率等一系列参数;后一类则应从瞄准读数精度出发来决定其参数。下面分别对其参数进行讨论。
(1)放大率
用于瞄准/读数的显微系统,其放大率应保证瞄准精度的要求。物镜的放大率一般不高,但应准确,允差为0.1%~0.05%,否则将引入测量误差。在设计时还应考虑其结构形式,便于在装配时能调整其放大率到准确的数值。而用于观察物体细节的显微系统,要求有较高的放大率,但对其数值并不要求准确,仪器中标出的放大率只是其名义值,允差可为8%。
(2)数值孔径
系统的数值孔径应满足仪器的使用要求,因此作微细观察的显微系统有较大的数值孔径;而瞄准/读数用的系统的数值孔径较小,其景深相应较大,因此这类系统不能用做光轴方向的精密定位。
(3)视场
视场的大小也应满足仪器的使用要求——需要观测的范围。视场及数值孔径都极大时,镜头设计的难度大大增加。
(4)工作距离
用于微细观察用的显微系统,由于其放大率及数值孔径都较大,因而物镜焦距短,其工作距离相应也很短,若在使用上对工作距离有特别的要求,则物镜设计时应采用特殊结构型式;而瞄准/定位用的显微系统,往往有较长的工作距离,由于其数值孔径较小,一般是易于满足的。
(5)光阑位置
在一股显微系统中,对光阑的位置没有什么特殊要求,设计者可根据校正像差的需要或结构尺寸的要求自行安排,一般将光阑选取在物镜框处,如图1所示。若此系统用于瞄准/读数,则从图中可以看出:物体atb,经光学系统1后成像(ais{)于分划板3上。虽然存在调焦误差,但只要物体的移动量∠不大于物镜的景深,物体移至a2b2后人眼是察觉不出的。这时实际像面移至a;s;,用分划板3进行测量就产生了2△d的误差。物镜的景深δj可用下式估算
式中,na为物镜的数值孔径;γ为显微镜的视放大率;凡为光波波长;刀为物方介质折射率;`为相应于人眼近点距的视度;第一项是由光的衍射所决定的量;第二项是与人眼分辨率有关的量;第三项是由人眼的调节所引起的。若系统中有分划板,则第三项的作用就不存在,故光学系统的景深受仪器及人眼的约束。人眼的焦深不仅与眼睛光学系统有关,还受从视网膜到大脑的神经系统的影响(例如当物的亮度较低时,人眼仅能感受物的低频信息,其焦深也随之增加),因此上式计算的结果只是近似的,实际的景深值还稍大。
图1 光阑在物镜上的显微系统
由于景深是客观存在的,故无法直接消除其影响。但如图2那样将光阑2移至物镜l的后焦面处,这时所有的主光线在物方均平行于光轴,在像方均通过后焦点。并且不论物体移至何处,主光线的方向均不变化,即分划板3上像光斑的中心位置始终不动,故不产生测量误差。
图2 物方远心光路
将孔径光阑放在物镜的后焦面上,其入瞳在物方无穷远处,故称为物方远心光路或焦阑光路。但并不是在任意物镜的后焦面上放一光阑就构成远心光路系统,而是需要进行专门的设计。测量系统中瞄准/读数用的显微系统,都应采用远心光路。
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