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光刻工艺对光刻版的质量要求

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:335

课程内容：

1 版的图形尺寸精确

2 版的套准误差小

3 版的黑白反差高

4 图形边缘光滑陡直无毛刺、过渡区小

4.1 过渡区定义和特点

4.2 过渡区产生的原因

4.3 过渡区造成的影响

课程内容：

1 版的图形尺寸精确

2 版的套准误差小

3 版的黑白反差高

4 图形边缘光滑陡直无毛刺、过渡区小

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4.2 过渡区产生的原因

4.3 过渡区造成的影响

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