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扩散方程及扩散杂质分布

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:286

课程内容：

1 扩散方程

1.1 平面器件扩散状态近似

1.2 扩散方程的建立

2 两步扩散工艺及其特点

2.1 两步扩散工艺

2.1.1预淀积扩散

课程内容：

1 扩散方程

1.1 平面器件扩散状态近似

1.2 扩散方程的建立

2 两步扩散工艺及其特点

2.1 两步扩散工艺

2.1.1预淀积扩散

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