无机残余物
发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:252
无机残余物是那些不含碳的物质。这样的例子有无机酸，如盐酸，氢氟酸。它们会在晶片制造的其它工序中介绍。关于晶片表面有机物和无机物的去除，有一系列的清洗方案，将在下面的部分介绍。
无机残余物是那些不含碳的物质。这样的例子有无机酸，如盐酸，氢氟酸。它们会在晶片制造的其它工序中介绍。关于晶片表面有机物和无机物的去除，有一系列的清洗方案，将在下面的部分介绍。
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