人员产生的污染
发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:281
洁净室工作人员是最大的污染源之一。即使一个经过风淋的洁净室操作员，当他坐着时，每分钟也可释放十万到一百万个颗粒。12当人员移动时，这个数字还会大幅增加。当一个人以每小时两英里的速度走动时，他每分钟会释放高达五百万个颗粒，这些颗粒都是来自坏死的头发和脱落的皮肤。其它的颗粒源还有喷发胶、化妆品、染发和暴露的衣服。图5.18列出了从不同的操作人员的动作中产生的污染物的水平。13
普通的衣服，即使在洁净服内，也会给洁净室增加上百万个微粒。在洁净度非常高的洁净室内，操作员只能穿用无脱落材料而且编织紧密的衣服。而用毛线和棉线编织的服装则被禁止，而且洁净服要制成高领长袖口的。
人类的呼吸也包含着大量的污染，每次呼气向空气中排出大量的水汽和微粒。而一个吸烟者的呼吸在吸烟后在很长时间里仍能带有上百万的微粒。而体液，例如含钠的唾液也是半导体器件的主要杀手。健康的人是许多污染的污染源，而病人就更加严重了。特别是皮疹与呼吸传染病患者还会产生额外的污染源。一些制造厂对患特定病症的工作人员进行另行安排。
从总体来看，唯一使工作人员适于洁净室工作的可行的办法是把人员完全包裹起来。而且洁净室工作人员的洁净服材料因洁净度的要求不同而不同。对一个典型的洁净区（图5.18）服饰材料应不易产生脱落，并且含有导电的纤维以对释放静电。一般使用材料为聚酯与goretextm。还要要求权衡材料的过滤能力与操作员穿戴的舒适度。与手套一样，重新清洗还是一次性废弃，在洁净服的使用中也是难以抉择，大多数ulsi加工厂发现可以再利用的洁净服，即使有一定的清洗费用，也可降低整体费用14。
身
普通的衣服，即使在洁净服内，也会给洁净室增加上百万个微粒。在洁净度非常高的洁净室内，操作员只能穿用无脱落材料而且编织紧密的衣服。而用毛线和棉线编织的服装则被禁止，而且洁净服要制成高领长袖口的。
人类的呼吸也包含着大量的污染，每次呼气向空气中排出大量的水汽和微粒。而一个吸烟者的呼吸在吸烟后在很长时间里仍能带有上百万的微粒。而体液，例如含钠的唾液也是半导体器件的主要杀手。健康的人是许多污染的污染源，而病人就更加严重了。特别是皮疹与呼吸传染病患者还会产生额外的污染源。一些制造厂对患特定病症的工作人员进行另行安排。
从总体来看，唯一使工作人员适于洁净室工作的可行的办法是把人员完全包裹起来。而且洁净室工作人员的洁净服材料因洁净度的要求不同而不同。对一个典型的洁净区（图5.18）服饰材料应不易产生脱落，并且含有导电的纤维以对释放静电。一般使用材料为聚酯与goretextm。还要要求权衡材料的过滤能力与操作员穿戴的舒适度。与手套一样，重新清洗还是一次性废弃，在洁净服的使用中也是难以抉择，大多数ulsi加工厂发现可以再利用的洁净服，即使有一定的清洗费用，也可降低整体费用14。
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洁净室工作人员是最大的污染源之一。即使一个经过风淋的洁净室操作员，当他坐着时，每分钟也可释放十万到一百万个颗粒。12当人员移动时，这个数字还会大幅增加。当一个人以每小时两英里的速度走动时，他每分钟会释放高达五百万个颗粒，这些颗粒都是来自坏死的头发和脱落的皮肤。其它的颗粒源还有喷发胶、化妆品、染发和暴露的衣服。图5.18列出了从不同的操作人员的动作中产生的污染物的水平。13
普通的衣服，即使在洁净服内，也会给洁净室增加上百万个微粒。在洁净度非常高的洁净室内，操作员只能穿用无脱落材料而且编织紧密的衣服。而用毛线和棉线编织的服装则被禁止，而且洁净服要制成高领长袖口的。
人类的呼吸也包含着大量的污染，每次呼气向空气中排出大量的水汽和微粒。而一个吸烟者的呼吸在吸烟后在很长时间里仍能带有上百万的微粒。而体液，例如含钠的唾液也是半导体器件的主要杀手。健康的人是许多污染的污染源，而病人就更加严重了。特别是皮疹与呼吸传染病患者还会产生额外的污染源。一些制造厂对患特定病症的工作人员进行另行安排。
从总体来看，唯一使工作人员适于洁净室工作的可行的办法是把人员完全包裹起来。而且洁净室工作人员的洁净服材料因洁净度的要求不同而不同。对一个典型的洁净区（图5.18）服饰材料应不易产生脱落，并且含有导电的纤维以对释放静电。一般使用材料为聚酯与goretextm。还要要求权衡材料的过滤能力与操作员穿戴的舒适度。与手套一样，重新清洗还是一次性废弃，在洁净服的使用中也是难以抉择，大多数ulsi加工厂发现可以再利用的洁净服，即使有一定的清洗费用，也可降低整体费用14。
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普通的衣服，即使在洁净服内，也会给洁净室增加上百万个微粒。在洁净度非常高的洁净室内，操作员只能穿用无脱落材料而且编织紧密的衣服。而用毛线和棉线编织的服装则被禁止，而且洁净服要制成高领长袖口的。
人类的呼吸也包含着大量的污染，每次呼气向空气中排出大量的水汽和微粒。而一个吸烟者的呼吸在吸烟后在很长时间里仍能带有上百万的微粒。而体液，例如含钠的唾液也是半导体器件的主要杀手。健康的人是许多污染的污染源，而病人就更加严重了。特别是皮疹与呼吸传染病患者还会产生额外的污染源。一些制造厂对患特定病症的工作人员进行另行安排。
从总体来看，唯一使工作人员适于洁净室工作的可行的办法是把人员完全包裹起来。而且洁净室工作人员的洁净服材料因洁净度的要求不同而不同。对一个典型的洁净区（图5.18）服饰材料应不易产生脱落，并且含有导电的纤维以对释放静电。一般使用材料为聚酯与goretextm。还要要求权衡材料的过滤能力与操作员穿戴的舒适度。与手套一样，重新清洗还是一次性废弃，在洁净服的使用中也是难以抉择，大多数ulsi加工厂发现可以再利用的洁净服，即使有一定的清洗费用，也可降低整体费用14。
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